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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

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Lösungen<br />

L8: Chemische Zusammensetzung einer ultradünnen Schicht<br />

L8: Chemische Zusammensetzung<br />

einer ultradünnen<br />

Fulleren-Schicht (C 60<br />

) – XPS-<br />

Untersuchungen<br />

Im Zusammenhang mit <strong>der</strong> Herstellung von organischen<br />

Halbleiterbauelementen werden unter<br />

an<strong>der</strong>em ultra-dünne C 60 -Schichten (C 60 = „Kohlenstoff-Fußbälle“)<br />

verwendet. Die elektrischen Eigenschaften<br />

hängen entscheidend von <strong>der</strong> Qualität<br />

(Struktur und Reinheit) dieser Schicht ab. Das<br />

vorliegende Beispiel (s. Abb. 1) zeigt die chemische<br />

Zusammensetzung <strong>der</strong> C 60 -Schicht, die bei drei<br />

unterschiedlichen Präpar<strong>at</strong>ionsbedingungen auf<br />

einer an<strong>der</strong>en organischen Schicht, die auf Glas<br />

aufgebracht war, abgeschieden worden ist. Man<br />

sieht deutlich, dass im Fall c) die Schichten am<br />

homogensten sind, da praktisch kein Signal vom<br />

Glassubstr<strong>at</strong> mehr zu sehen ist. Auch <strong>der</strong> Sauerstoffgehalt,<br />

offensichtlich durch Adsorption aus<br />

<strong>der</strong> Luft, ist bei den drei Proben unterschiedlich.<br />

Die Kombin<strong>at</strong>ion dieser D<strong>at</strong>en mit den zugehörigen<br />

elektrischen Eigenschaften ermöglicht die Optimierung<br />

<strong>der</strong> Präpar<strong>at</strong>ionsbedingungen.<br />

Adolf Winkler<br />

Technische Universität Graz<br />

Institut für Festkörperphysik<br />

Abbildung 1:<br />

Methoden:<br />

XPS-Spektren einer ultradünnen Fulleren-Schicht<br />

(C 60 ).<br />

M32<br />

Lösungen: –<br />

Institute:<br />

Kontakte:<br />

Dünnschichten | Fullerene | Photoelektronenspektroskopie | XPS<br />

I8<br />

K50<br />

Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong><br />

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