Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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Inhaltsverzeichnis<br />

M26: Präpar<strong>at</strong>ionstechniken in <strong>der</strong> Elektronenmikroskopie (REM und TEM) 65<br />

M27: Rasterelektronenmikroskopie (REM/SEM) 71<br />

M28: Rasterkraftmikroskopie (AFM) 73<br />

M29: Rasterkraftmikroskopie (AFM) – Phase Imaging 75<br />

M30: Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM) 79<br />

M31: Rastertunnelmikroskopie (RTM/STM) 82<br />

M32: Röntgen- und Ultraviolett-Photoelektronenspektroskopie (XPS und UPS) 84<br />

M33: Röntgenbeugung – Linienprofilanalyse (XRD LPA) 86<br />

M34: Röntgenbeugung – Polfigurtechnik (XRD-PF) 88<br />

M35: Röntgenkleinwinkel- und -weitwinkelstreuung (SAXS und WAXS) 90<br />

M36: Röntgenkleinwinkelstreuung (SAXS) 94<br />

M37: Röntgenreflektivität (XRR) 97<br />

M38: SAXSess – Das Instrument für Nanom<strong>at</strong>erialien 100<br />

M39: Schwingungsspektroskopie (IR und Raman) 102<br />

M40: Synchrotronstrahlung 104<br />

M41: Thermische Desorptionsspektroskopie (TDS) 105<br />

M42: Thermo-mechanische Charakterisierung dünner Schichten 107<br />

M43: Tribologische Untersuchungen 109<br />

M44: Ultramikrotomie 112<br />

M45: Zeta-Potenzial-Messung 117<br />

Lösungen und Anwendungsbeispiele 121<br />

L1: AES-Querschnitts-Analyse von Ni-Nanodrähten 123<br />

L2: AFM-Untersuchungen zum Schichtwachstum von polykristallinen<br />

Pentazen-Dünnschichten 125<br />

L3: Anwendungen <strong>der</strong> Positronenannihil<strong>at</strong>ion – Grenzflächen,<br />

Leerstellen und freie Volumina 129<br />

L4: Ausscheidungscharakterisierung von Stählen mittels EFTEM 132<br />

L5: Bestimmung <strong>der</strong> Ge-Konzentr<strong>at</strong>ion von SiGe-Legierungen<br />

mittels Ellipsometrie 135<br />

XIV<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>

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