Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L5: Bestimmung der Ge-Konzentration von SiGe-Legierungen
In Abb. 3 ist der Vergleich zwischen ellipsometrisch
erhaltenen Konzentrationswerten und der
„Eichgeraden“, die aus röntgendiffraktometrischen
Messungen (die Kantenlänge der Elementarzellen
senkrecht zur Schichtebene ist eine Funktion der
Ge-Konzentration) erhalten wird, gezeigt. Es konnte
eine sehr gute Übereinstimmung erzielt werden.
Für die freundliche Genehmigung zur Veröffentlichung
der gezeigten Ergebnisse danken wir der
Fa. austriamicrosystems.
Georg Jakopic
JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH
Institut für Nanostrukturierte Materialien und Photonik
Abbildung 3:
Vergleich der Methoden Röntgendiffraktometrie
und Spektralellipsometrie
zur Bestimmung des Ge-Gehaltes von
SiGe-Legierungen (s. blaue Kurve;
schwarze Linie = „Idealkurve“).
Methoden:
M9
Lösungen: —
Institute:
Kontakte:
I10
K16
Bandabstand | dielektrische Funktion | Ellipsometrie | Röntgendiffraktometrie
Silizium-Germanium-Legierung
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005