Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

M37: Röntgenreflektivität (XRR)
der Schichtdicke, weiters noch Informationen über Weiterführende Literatur
den Elektronendichteverlauf in der Probe und die
Rauigkeit der einzelnen Grenzschichten.
[1] H. Kiessig (1931) „Interferenz von Röntgenstrahlen
an dünnen Schichten“. Annalen der
Die Methodik der Röntgenreflektivität kann auf Physik 10, 769-87.
jegliche Schichtsysteme angewendet werden. [2] E. Chason (2000) „X-ray Reflectivity for
Schichtdicken im Bereich von einigen wenigen Studies of Surface and Interface Structure“,
nm bis zu einigen hundert nm können mit hoher in: „In-Situ Real-Time Characterisation of Thin
Genauigkeit bestimmt werden. Limitierend für die Films“. O. Auciello, A. R. Krauss (Eds.), John
Messung sind die Winkelauflösung des verwendeten
Röntgendiffraktometer (Fringes zu nahe zusam-
[3] U. Pietsch, V. Holy, T. Baumbach (2004)
Wiley & Sons. 264 Seiten.
men) und die Empfindlichkeit des Detektors (Intensitätsänderung
um bis zu 8 Größenordnungen).
Thin Films to Lateral Nanostructures“. Sprin-
„High-Resolution X-Ray Scattering – From
ger Verlag. 408 Seiten.
Oliver Werzer, Roland Resel
Technische Universität Graz
Institut für Festkörperphysik
Methoden: —
Lösungen: —
Institute:
I8
Kontakte:
K38
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