Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

M30: Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM)
Verfahren die Möglichkeit, Kontraständerungen fokusunabhängig
direkt als Funktion des streuenden
Elementes bei gleichzeitig hoher Ortsauflösung aufzuzeichnen
(Z-Kontrastabbildungen, Abb. 3b, 4).
Ein weiterer wesentlicher Vorteil von HAADF-
STEM liegt in der Kompatibilität mit den beiden
analytischen Verfahren EELS (Elektronenenergieverlustspektroskopie)
und EDXS (Energiedispersive
Röntgenspektroskopie). Da der ungebeugte bzw.
nur in sehr kleine Winkel gebeugte Elektronenstrahl
nicht für die Bildgebung verwendet wird und somit
direkt in das unter dem Detektor liegende Energieverlustspektrometer
gelenkt werden kann, ergibt
sich die Möglichkeit zur simultanen Aufnahme von
EELS-Spektren. Nach der Bildgenerierung kann
der Strahl auf einem beliebigen Strukturdetail im
Bildausschnitt positioniert werden, und anschließend
können komplette Energieverlust- aber auch
Röntgen-Spektren von bestimmten Punkten, entlang
von Linien oder innerhalb rechteckiger Bereiche
aufgezeichnet werden (Spectrum Imaging,
Abb. 5).
Gerald Kothleitner, Werner Rechberger, Werner Grogger
Technische Universität Graz
Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie und
Feinstrukturforschung
und Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz
Abbildung 5:
Methoden:
Analytische Techniken EDXS und EELS
in Kombination mit HAADF-STEM.
M2 | M8 | M10 | M17
Lösungen: —
Institute:
Kontakte:
EDXS | EELS | Elektronenenergieverlustspektroskopie | Energiedispersive Röntgenspektroskopie
Hochauflösung | Rastertransmissionselektronenmikroskopie | Spectrum Imaging | STEM
I4
K21
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
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