Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis
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Hochvakuumbeschichtungsanlage MAB760<br />
Effizient und präzise<br />
Technische Daten:<br />
Rezipient<br />
Prozesssteuerung<br />
Vakuumpumpen<br />
Substrat Kalotten<br />
Substratheizung<br />
Rezipient Türöffnungsbreite 890mm<br />
Rezipient Türöffnungshöhe 915mm<br />
Volumen ca.700l<br />
Vorpumpe Wälzkolbenpumpstand mit zweistufiger Drehschieberpumpe<br />
mit der Pumpleistung 430m³/h<br />
Hochvakuumpumpe Kryopumpe mit der Pumpleistung 10.000l/s<br />
Meissnerfalle mit Polycold - optional<br />
Kalotten Durchmesser 800mm<br />
Kapazität bei Substraten mit Durchmesser 65mm 80Stück<br />
Kapazität bei Substraten mit Durchmesser 70mm 68Stück<br />
Kapazität bei Substraten mit Durchmesser 75mm 60Stück<br />
Planetenantrieb / Wendevorrichtung – optional<br />
Drei Keramikheizer mit der Gesamtleistung von 7,8kW für Temperaturen bis 300°C<br />
Sechs Keramikheizer mit der Gesamtleistung von 15,6kW - optional<br />
Rückseitenheizung – optional<br />
Beschichtungsquellen<br />
Elektronenstrahlverdampfer 4 Tiegelausführung à 40cm³ mit Hochspannungsversorgung 5kW<br />
Elektronenstrahlverdampfer 4 Tiegelausführung à 60cm³<br />
mit Hochspannungsversorgung 10kW - optional<br />
Thermischer Verdampfer – optional<br />
Plasmaquelle – optional<br />
Schichtdickenmessung<br />
Messkopf einfach in drehbarer Einzelhalterausführung<br />
Messkopf sechsfach – optional<br />
Optisches Monitoring - optional<br />
Photometer OMD-8000 VIS/NIR 200nm – 1100nm<br />
Anforderungen an den Aufstellungsort<br />
Wasserversorgung @ 20°C mindestens 70l/min<br />
Wasserdruck mindestens 5bar<br />
Druckluft mindestens 7bar<br />
Spannungsversorgung 3 x 400V<br />
Frequenz 50 / 60Hz<br />
Leistung 80kW<br />
Die endgültigen technischen Angaben der Anlage sind von der Ausführung abhängig.<br />
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