Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis
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Hochvakuumbeschichtungsanlage MA700<br />
Die Standard Beschichtungsanlage für die Kleinserienfertigung<br />
Technische Daten:<br />
Rezipient<br />
Prozesssteuerung<br />
Vakuumpumpen<br />
Substrat Kalotten<br />
Rezipient Türöffnungsbreite 710mm<br />
Rezipient Türöffnungshöhe 720mm<br />
Volumen ca.430l<br />
Vorpumpe Wälzkolbenpumpstand mit zweistufiger Drehschieberpumpe<br />
mit der Pumpleistung 220m³/h<br />
Hochvakuumpumpe Turbomolekularpumpe mit der Pumpleistung 1300l/s<br />
Meissnerfalle mit Polycold - optional<br />
Kalotten Durchmesser 685mm<br />
Kapazität bei Substraten mit Durchmesser 65mm 1Stück<br />
Kapazität bei Substraten mit Durchmesser 70mm 62Stück<br />
Kapazität bei Substraten mit Durchmesser 75mm 52Stück<br />
Planetenantrieb – optional<br />
Wendevorrichtung - optional<br />
Substratheizung<br />
Zwei Keramikheizer mit der Gesamtleistung von 5,2kW für Temperaturen bis 300°C<br />
Rückseitenheizung – optional<br />
Beschichtungsquellen<br />
Elektronenstrahlverdampfer 4 Tiegelausführung à 40cm³ mit Hochspannungsversorgung 5kW<br />
Thermischer Verdampfer – optional<br />
Plasmaquelle – optional<br />
Schichtdickenmessung<br />
Messkopf einfach in drehbarer Einzelhalterausführung<br />
Messkopf sechsfach – optional<br />
Optisches Monitoring - optional<br />
Photometer OMD-8000 VIS/NIR 200nm – 1100nm<br />
Anforderungen an den Aufstellungsort<br />
Wasserversorgung @ 20°C mindestens 70l/min<br />
Wasserdruck mindestens 5bar<br />
Druckluft mindestens 7bar<br />
Spannungsversorgung 3 x 400V<br />
Frequenz 50 / 60Hz<br />
Leistung 45kW<br />
Die endgültigen technischen Angaben der Anlage sind von der Ausführung abhängig.<br />
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