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Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis

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Schubladenbaffle<br />

Beschreibung<br />

Der Einsatz des Schubladenbaffles liegt zwischen<br />

Hochvakuumpumpe (Kryopumpe) und Hochvakuumventil V1.<br />

Es dient zum zusätzlichen Schutz Ihrer Kryopumpe vor den<br />

Prozesstemperaturen im Rezipienten.<br />

Ebenso wie unser Baffle erhalten Sie das Schubladenbaffle<br />

nach Ihren Vorgaben aus Edelstahl oder Kupfer.<br />

Wasserkühlung oder Stickstoffkühlung<br />

Meissnerfalle<br />

Beschreibung<br />

Eine Meissnerfalle unterstützt die vorhandene Hochvakuumpumpe beim<br />

Evakuieren des Rezipienten. In Verbindung mit einem Kühlaggregat wird<br />

Wasserdampf an der Oberfläche der Meissnerfalle angefroren.<br />

Die Meissnerfalle mit dem angefrorenen Wasserdampf wird durch angebrachte<br />

Bleche vor Hitzeeinwirkungen geschützt.<br />

Durch den Einsatz einer Meissnerfalle mit einem Kühlaggregat konnten<br />

bei einer Hochvakuumbeschichtungsanlage MA1100 die Pumpzeiten um<br />

ca. 1h verkürzt werden.<br />

Wir passen die Meissnerfalle bei einer Nachrüstung einer bestehenden<br />

Anlage den Einbaubedingungen an.<br />

Kühlbleche, Schutzbleche<br />

Beschreibung<br />

Ihr Rezipient und Elektronenstrahlverdampfer soll Ihnen über eine sehr lange Zeit einen guten Dienst leisten?<br />

Wir bieten Ihnen, angepasst an Ihre vorhandene oder neue Anlage passende Schutzbleche sowie Kühlbleche in Kupfer oder<br />

Edelstahl.<br />

Abbildung 50 Bedampfungsschutz für eine ESV14<br />

33<br />

Abbildung 48 Schubladenbaffle<br />

Abbildung 489Meissnerfalle, ohne Schutzbleche<br />

Abbildung 51 Türinnenseite mit Schutzblechen

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