Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis

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06.11.2012 Aufrufe

Kalottensegmente Beschreibung Wir liefern Ihnen an die Substrate angepasste Kalottensegmente die exakt Ihren Wünschen und Vorstellungen entsprechen. Optional mit Bohrungen oder einem Rechteckigen Ausschnitt für Schienen, natürlich mit den entsprechenden Schienen. Abbildung 40 Kalottensegmente mit rechteckigem Ausschnitt Halterung für Kalottensegmente Beschreibung Einfaches Bestücken Ihrer Kalottensegmente mit Substraten durch die Marquis Halterung für Kalotten. Die Halterung wird nach Ihren Wünschen und der genauen Ausführung der Kalotten angepasst. Planetenantrieb Beschreibung Übersetzungsverhältnis nach Wunsch 8-fach, 6-fach oder 4-fach Teilung möglich Auslegung maximal 100kg pro Planet Maximaler Substratdurchmesser: 400mm Inklusive Wellenklemmung für Planetenteller 31 Abbildung 41 Kalottensegmente in Kalottenaufnahme Abbildung 42 Halterung für Kalottensegmente Abbildung 43 Planetenantrieb

Planetentöpfe Beschreibung Passend zu Ihrem Substrat liefern wir Ihnen natürlich auch die entsprechende Aufnahme für das Substrat zu dem Planetenantrieb. Planetenantrieb 40° Beschreibung Die Substrate können bei unserem Planetenantrieb um 40° geneigt eingesetzt werden. Dies ermöglicht eine gezielte Beschichtung des Randbereiches der Substrate. Nachrüstbar an Standard Planetenantrieb Lässt sich in viele besehende Rezipienten integrieren. Auf Wunsch sind auch andere Kippwinkel möglich. Der besitzt eine kompakte Bauform. Baffle – Chevronbaffle Beschreibung Wir liefern Ihnen Baffle nach Ihren Vorgaben aus Edelstahl oder Kupfer, mit oder ohne Wasserkühlung Wir fertigen hochvakuumdichte Durchführungen für Kühlwasser passend zu den Baffle Für die Anlage MA1100 und größer ist wegen der besseren Handhabung das Chevronbaffle zweigeteilt (links und rechts). Abbildung 46 Baffle und 32 Abbildung 44 Substrat-Topf für Planetenantrieb Abbildung 45 Planetenantrieb mit um 40°geneigter Aufnahme Abbildung 47 Chevronbaffle und im Rezipient eingebaut

Planetentöpfe<br />

Beschreibung<br />

Passend zu Ihrem Substrat liefern wir Ihnen natürlich<br />

auch die entsprechende Aufnahme für das Substrat<br />

zu dem Planetenantrieb.<br />

Planetenantrieb 40°<br />

Beschreibung<br />

Die Substrate können bei unserem Planetenantrieb<br />

um 40° geneigt eingesetzt werden.<br />

Dies ermöglicht eine gezielte Beschichtung des<br />

Randbereiches der Substrate.<br />

Nachrüstbar an Standard Planetenantrieb<br />

Lässt sich in viele besehende Rezipienten integrieren.<br />

Auf Wunsch sind auch andere Kippwinkel möglich.<br />

Der besitzt eine kompakte Bauform.<br />

Baffle – Chevronbaffle<br />

Beschreibung<br />

Wir liefern Ihnen Baffle nach Ihren Vorgaben aus Edelstahl oder Kupfer, mit oder ohne Wasserkühlung<br />

Wir fertigen hochvakuumdichte Durchführungen für Kühlwasser passend zu den Baffle<br />

Für die Anlage MA1100 und größer ist wegen der besseren Handhabung das Chevronbaffle zweigeteilt (links und rechts).<br />

Abbildung 46 Baffle<br />

und<br />

32<br />

Abbildung 44 Substrat-Topf für Planetenantrieb<br />

Abbildung 45 Planetenantrieb mit um 40°geneigter Aufnahme<br />

Abbildung 47 Chevronbaffle und<br />

im Rezipient eingebaut

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