Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis

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Schichtdickencontroller Beschreibung Die Schichtdickencontrollerkarte wird als Standard-PCI-Karte im Anlagenrechner integriert. Die Karte bestimmt die Frequenz der angeschlossenen Quarze und berechnet daraus die Rate. Alle Einzelraten werden über Softwareschnittstellen zur Verfügung gestellt. Die von uns entwickelte Software erlaubt die Mittelung und Gewichtung der Einzelraten und berechnet die Schichtdicke. Ein integrierter Norm-PID-Regler übernimmt die Ratenregelung. Über Konfigurationsmasken kann die Reaktion auf Ausfall einzelner Quarze sowie die Anwahl des Quarzkopfes eingestellt werden. Der Stellwert des Reglers geht direkt an die SPS und wie bisher über Analogausgänge an die Stellglieder (Filamentstromversorgung; Thermische Verdampfer). Über eine integrierte Filterfunktion kann das Ratensignal gefiltert werden. Als Materialdaten stehen die gewohnten Parameter Tooling, Density usw. zur Verfügung. Technische Daten Eingänge: 4 Steckverbindung: BNC Quarzfrequenz: 1 bis 10 MHz (sowohl 5 als auch 6 MHz Quarze verwendbar) Schichtdicken Auflösung: 0,2 A° at 0,25 sec Schichtdicken Genauigkeit: 0,5% + 1 count Ausgänge: 2 Signal: 0 bis ± 10 V DC Impedanz: 1 K Auflösung: 15 bit Abbildung 37 Schichtdickencontroller 29
Drehantrieb Beschreibung Drehantrieb für Planeten- Substrathalter mit Compoundlagern Gehäuse aus Edelstahl Inklusive Absolutwertgeber (Inkrementalgeber) für die Planetenposition Ferrofluid Drehdurchführung Drehgeschwindigkeit wählbar: max. 20 U/min Einbau von Schichtdickenmesseinrichtungen im Zentrum vorgesehen Antrieb: Servomotor Fabrikat Siemens Belastbarkeit axial 500kg Asymmetrische Belastung 20 % zulässig (verkürzte Lagerlebenszeit beachten) Lager Typ Compound Optional: Magnetkupplung am Antrieb Drehantrieb Beschreibung Preiswerte Variante eines Drehantriebs für Kalotten - Substrathalter Gehäuse aus Edelstahl Ferrofluidgedichtete Drehdurchführung Einbau von Schichtdickenmesseinrichtungen im Zentrum vorgesehen Drehgeschwindigkeit wählbar: max. 20 U/min Antrieb: Lenze Drehstrommotor 30 Abbildung 38 Drehantrieb Abbildung 39 Drehantrieb
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