Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis

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Glimmsteuereinschub Beschreibung Der Glimmsteuereinschub wurde als Einheit mit flexiblen Ansteuermöglichkeiten konzipiert. Er erlaubt sowohl die Bedienung als eigenständige Glimmsteuerung über das Bedienfeld und die zugehörigen Taster, als auch die Ansteuerung über digitale und analoge Schnittstelle. Optional auch die Ansteuerung als Profibus-Slave. Funktion Glimmstromregelungsarten Gasregelung: Beim Start werden der Gasstartwert und der feste Spannungswert eingestellt. Nach der Startwartezeit von 5 Sekunden wird mit dem Gasfluss auf den gewünschten Glimmstromsollwert geregelt, die eingestellte Spannung bleibt konstant. Der Einschub erlaubt die Ansteuerung eines Flowcontrollers mit zugehörigem Absperrventil über Standardschnittstelle. Spannungsregelung: Beim Start werden der Spannungswert und der feste Gasflusswert eingestellt. Nach der Startwartezeit von 5 Sekunden wird durch die Regelung der Glimmspannung der gewünschte Glimmstrom eingestellt. Der Gasfluss bleibt konstant. Technische Daten Netzanschluss: 230V AC / 50Hz, 50VA Bauform: 19“ Einschub 3 HE Abmessungen: BxHxT 483x88x310 Farbe : Frontplatte RAL 7035 Bediengerät Eingabe- Anzeigeparameter Auswahl Regelungsart: Spannungs- oder Gasregelung, Glimmzeitsollwert, Glimmstromsollwert bei Lokalbetrieb PID-Regelparameter, Auswahl Gasflowcontroller (0-10V, 0-5V), Anzeige Glimmstromistwert , Anzeige Störmeldung in Klartext Abbildung 21 Glimmsteuereinschub 21 Schnittstellen Anschluss an übergeordnete Steuerung Digitale Eingänge (24VDC) Analoge Eingänge (0-10V) Analoge Ausgänge Option Profibus-Slave Schnittstelle Aktivierung über Auswahl im Bediengerät Störmeldung in Klartext
Heizung Beschreibung Vorderseiten Substrat-Heizung (Keramikheizer) Heizleistung pro Heizer: 2,6kW, Spannung 400V 2 phasig Keine Plasmabildung durch eine vollständige metallische Schirmung komplett mit Hochvakuumdurchführung im Rezipientenboden und Bedampfungsschutzblechen am Keramikheizer Anmerkung: Keramikheizplatten mit beschädigten Kontaktflächen können wieder instand gesetzt werden Abbildung 22 Keramik-Heizung Heizung asymmetrisch Beschreibung Vorderseiten Substrat-Heizung (Keramik-Heizer) Heizplatte asymmetrisch (verwechslungssicher) Befestigungskompatibel zu marktüblichen Infrarotheizern Heizleistung pro Heizer: 2,6kW Spannung, 400V 2 phasig Keine Plasmabildung durch eine vollständige metallische Schirmung komplett mit Hochvakuumdurchführung im Rezipientenboden und Bedampfungsschutzblechen am Keramikheizer Abbildung 24 Keramik-Heizung asymmetrisch 22 Abbildung 23 Keramikheizung auf Halterung mit integrierter Stromdurchführung
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