Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis

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Umbau- und Erweiterungs-Service Ihre Hochvakuumbeschichtungsanlage ist schon länger in Betrieb und eine Komponente bereitet Ihnen Sorgen? Nutzen Sie unser Know-how beim Austausch einzelner Komponenten wie Hochspannungsversorgungen oder Vakuumpumpen. Die bestehende Anlagensteuerung bleibt erhalten und Sie müssen Ihre Prozesse nicht auf eine neue Anlagensteuerung anpassen. Vorhandene Heizungen wie Quarzstrahler oder Wendelheizer können durch unsere Keramikheizer ersetzt werden. Hier haben wir eine Lösung mit unseren Keramikheizern, welche direkt auf die bestehenden Halterungen anstatt der Wendelheizer aufgebaut werden können. Im Schaltschrank ist dann noch lediglich der Einsatz von einem Thyristorsteller und Trenntraffo nötig (siehe Seite 22 Heizung asymmetrisch). Ebenfalls können Ionenquellen / Plasmaquellen in eine vorhandene Anlagenkonfiguration eingebaut werden. Die Steuerung erfolgt hierbei durch den Controller der Quelle. Bei einem Retrofit der Anlagensteuerung auf eine kann die Quelle komplett integriert werden. Gleich wie die Erweiterung der bestehenden Beschichtungsanlage mit einer Ionenquelle erfolgen kann, ersetzen wir eine vorhandene Hochspannungsversorgung wie zum Beispiel eine HV10 gegen eine neue vom Fabrikat Beamtec WARP 10 oder Ferrotec Carrera 10! 17
Gebrauchtmaschinen Durch unseren Kundenstamm haben wir einen sehr guten Zugang zu Anlagen, die ausgemustert werden. Diese Anlagen werden nach Ihren Wünschen bei uns generalüberholt und auf den neusten Stand gebracht. Wir haben auch ständig Gebrauchtanlagen und Komponenten im Lager. Sprechen Sie uns einfach an! Sicherlich ist die richtige Anlage für Sie dabei! Abbildung 17 zeigt eine Retrofit auf eine MA700Q mit Glimmblech, Keramik-Heizungen, einem Thermischen-Verdampfer und einem Elektronenstrahlverdampfer. Die Hochvakuumpumpe ist hier eine Turbomolekularpumpe. Abbildung 18 zeigt ein Retrofit auf eine MA1100 mit Meissnerfalle, 6 Stück Keramik-Heizungen, 2 Stück Elektronenstrahlverdampfer. Die Hochvakuumpumpe ist hier eine Diffusionspumpe. 18
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