Katalog Beschichtungsanlagen - Marquis
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Steuerung<br />
präsentiert mit Ihrer Prozesssteuerung eine Prozesssteuerung zur Neuausrüstung oder Modernisierung<br />
sämtlicher marktüblicher <strong>Beschichtungsanlagen</strong>.<br />
Basierend auf einer S7-kompatiblen Steuerung und einem 19“ Zoll PC mit der entsprechenden Visualisierungssoftware stellt<br />
die ein flexibles und modernes Konzept zur Überwachung, Dokumentation und Prozesssteuerung zur Verfügung.<br />
Moderne Netzwerk- und Telekommunikationstechniken bieten die Möglichkeit der Anbindung an einen zentralen<br />
Datenverwaltungsserver oder der Anlagendiagnose über Fernwartung.<br />
Die Verwendung von industriegeprüften Bauteilen, zukunftsorientierten Betriebssystemen und Programmiersprachen sowie<br />
die Erfahrung von über 80 Retrofitpaketen bzw. Ausrüstungen von Neuanlagen ergibt eine hohe Zukunfts- und<br />
Investitionssicherheit.<br />
Ansteuerung von Diffusionspumpen, Cryopumpen, Turbopumpen<br />
Elektronenstrahlverdampfer, Widerstandsverdampfer, RF- und DC Sputterquellen<br />
Integration der vorhandenen Hochspannungsversorgungen bei Bedarf<br />
Ansteuerung von verschiedensten Tiegelpositionierungen und Substratantrieben<br />
Integration von Ionenquellen<br />
Integration Massenspektrometer<br />
Berührungslose Temperaturmessung mit Pyrometer<br />
Integrierte programmierbare Strahlablenkung<br />
Optisches Monitoring<br />
Abbildung 11 Pumpstand Abbildung 12 Stepcontroller<br />
Abbildung 13 Alarmarchiv<br />
Abbildung 14 Prozessprotokoll<br />
Abbildung 15 Handbedienung Abbildung 16 Prozessdaten<br />
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