Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

5 HERSTELLUNG VON CROSSBAR-STRUKTUREN
Kontaktflächen der Bottom- und Top-Elektroden gesetzt. Abbildung 5.17 zeigt das
Crossbar-Array (rechts) und die I(U)-Kennlinie der elektrischen Messung (links), die an
einem Eckpunkt des Arrays durchgeführt wurde.
MSQ
a)
Top-Elektrode
TiO 2
Bottom-Elektrode
Substrat
MSQ
Abbildung 5.16:
Integration von TiO 2 in
die Crossbar-Plattform.
a) Crossbar-Array mit
30 nm TiO 2 als
funktionales Material und
planarisierten Bottom-
Elektroden.
b) Querschnitt einer TiO 2
Speicherzelle mit 30 nm
hohen Pt-Bottom- und Pt-
Top-Elektroden.
b)
Zuleitungen
Bottom-Elektroden
3E-4
2E-4
Strom [A]
1E-4
0E+0
1
3
4
-1E-4
-2E-4
2
-6 -4 -2 0 2 4 6
Spannung [V]
Top-Elektroden
Abbildung 5.17: I(U)-Kennlinie einer resistiven Speicherzelle mit schaltbarem TiO 2 (links),
16 bit Crossbar-Array mit einem Half-Pitch von 500 nm (rechts) [106].
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