Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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5 HERSTELLUNG VON CROSSBAR-STRUKTUREN<br />
wahrgenommen werden konnten (vgl. Abbildung 5.7 a).<br />
Es boten sich dabei <strong>für</strong> eine grobe Erstjustage <strong>die</strong> Überlappung der quadratischen<br />
Randstrukturen an. Weiterhin ließen <strong>die</strong> Kreuzstrukturen im Zentrum, durch deren<br />
geringeren Überlappungsspielraum, eine wesentlich f<strong>einer</strong>e Justierung zu.<br />
Nachzuvollziehen ist <strong>die</strong>s an den hellen Flächen seitlich der Kreuze. Sie sind mit 1 μm x<br />
10 μm dimensioniert. Bei einem erfolgreichen Alignment erscheinen <strong>die</strong>se relativ<br />
kleinen Flächen an allen Seiten des Kreuzes gleich groß.<br />
a)<br />
b) c)<br />
Abbildung 5.6: Alignment-Marker: a), b) Kreuzstrukturen <strong>für</strong> das grobe Alignment,<br />
c) kreisförmige Moiré-Strukturen <strong>für</strong> das feine Alignment.<br />
Abbildung 5.6 c) zeigt das Layout der Moirè-Strukturen, welche <strong>für</strong> <strong>die</strong> Feinstjustierung<br />
entworfen wurden. Die Struktur bestand aus kreisförmigen Linien unterschiedlichen<br />
Durchmessers, welche einen definierten Abstand zueinander aufwiesen. Auch hier<br />
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