Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

4 DIE HERSTELLUNGSTECHNOLOGIEN
Die NX-2000 wird über einen PC gesteuert, wobei die Bedienungsoberfläche auf der
Programmierungs-Software „Labview“ basiert [104]. Hier können Parameter wie
Imprint-Zeit, -Druck, und -Temperatur gewählt werden. Diese Parameter müssen stets
den gegebenen Umständen, wie der Lackdicke, -viskosität oder Stempeltiefe, angepasst
werden. Die Dosis, welche der vollständigen Härtung der UV-Lacke dient, wird über
die Belichtungszeit während des Imprints festgelegt. Für thermische Prozesse kann die
Belüftungstemperatur gewählt werden, welche stets unterhalb der Glasübergangstemperatur
der verwendeten Polymere liegen muss, damit sich diese während der
Druckverringerung in fester Form befinden (vergleiche Abbildung 2.1 c). Ferner wird
über die NX-2000 Software die Evakuierungszeit vor dem Druckluftprozess bestimmt.
Diese sollte bei wenig viskosen UV-Lacken jedoch nicht zu lang gewählt werden, da
sich durch deren gute Fließfähigkeit unerwünschte Verformungen ergeben können. Der
Standardwert für UV-NIL-Prozesse wurde mit 20 s empirisch ermittelt.
Die Druck- und Temperaturverläufe während eines Prozesses können im Desktopfenster
in-situ abgelesen werden. Abbildung 4.4 zeigt einen typischen Verlauf der Druck und
Temperaturparameter während eines UV-Imprint-Prozesses.
550
450
Imprint
Zylinder
Druck [psi]
350
250
150
Temperatur [°C]
50
-50
45
35
25
15
5
0 500 1000 1500 2000
Temperatur
Belichtung
0 500 1000Zeit
1500 2000
Abbildung 4.4: Druck- und Temperaturverlauf während eines UV-Nanoimprint-Prozesses.
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