Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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4 DIE HERSTELLUNGSTECHNOLOGIEN<br />
Lack-Homogenität durch <strong>die</strong> Air-Cushion Technik zu erkennen. Mit Hilfe der NX-2000<br />
können somit durch homogene Druckverteilungen auch z.B. Einflüsse von Partikeln<br />
oder Unebenheiten von Stempel und Substrat kompensiert werden. Auch Probleme<br />
durch unebene oder verkippte Parallelplatten werden bei der Druckluftpresse gänzlich<br />
umgangen [103].<br />
Folie<br />
Druckluft<br />
Vakuum<br />
a) b)<br />
Abbildung 4.2: Funktionsdarstellung der Nanoimprint-Anlage NX-2000, a) Evakuieren der<br />
Prozesskammer, b) Nanoimprint-Prozess durch Fluten der Prozesskammer mit Druckluft.<br />
a) b)<br />
Abbildung 4.3: Vergleich zweier Ergebnisse, wie sie mit <strong>einer</strong> Parallelplattenpresse (a) und<br />
<strong>einer</strong> Druckluftpresse (b) auf einem 100 mm Wafer erzielt worden sind [103].<br />
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