Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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[113] S. Panda et al., Journal of Vacuum Science and Technology B 19(2), 398 – 404<br />
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(2002).<br />
[116] M. Meier et al., Microelectronic Engineering 86, 1060-1062 (2009).<br />
[117] S. Tachi et al., Journal of Vacuum Science and Technology A 9(3), 796 – 803<br />
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[119] M. W. Lin et al, Proceedings of SPIE 6151, 688 - 699 (2006).<br />
[120] M. Miller et al., Proceedings of SPIE 5751, 994 - 1002 (2005).<br />
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[123] A. T. Kohl et al., Electrochemical and Solid-State Letters 2(2), 77-79 (1999).<br />
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