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Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

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[113] S. Panda et al., Journal of Vacuum Science and Technology B 19(2), 398 – 404<br />

(2001).<br />

[114] M. Meier, Stu<strong>die</strong>narbeit zum Thema: “Plasmaprozesse <strong>für</strong> InP-basierte<br />

Halbleiter mit niedrigen Ätzraten in <strong>einer</strong> Anlage mit induktiv-gekoppeltem<br />

Plasma”, Duisburg (2005).<br />

[115] S. Schneider et al., Material Research Society Symposium 688, 5.6.1 – 5.6.6<br />

(2002).<br />

[116] M. Meier et al., Microelectronic Engineering 86, 1060-1062 (2009).<br />

[117] S. Tachi et al., Journal of Vacuum Science and Technology A 9(3), 796 – 803<br />

(1991).<br />

[118] M. Li et al., Proceedings of SPIE 5374, 209 - 212 (2004).<br />

[119] M. W. Lin et al, Proceedings of SPIE 6151, 688 - 699 (2006).<br />

[120] M. Miller et al., Proceedings of SPIE 5751, 994 - 1002 (2005).<br />

[121] R. Rosezin et al., Microelectronic Engineering (2009) in press.<br />

[122] N. Ahner et al., Microelectronic Engineering 84, 2602-2609 (2007).<br />

[123] A. T. Kohl et al., Electrochemical and Solid-State Letters 2(2), 77-79 (1999).<br />

[124] K. Maex et al. Journal of Applied Physics 93(11), 8793-8841 (2003).<br />

[125] W.-C. Liu et al., Journal of Non-Crystalline Solids 311, 233-240 (2002).<br />

[126] S. C. Puthen Thermadam, Disseratation zum Thema: “Programmable<br />

Metallization Cell Based on Copper Doped Silicon Dioxide“, Arizona (2007).<br />

[127] S. Manhart, Journal of Applied Physics 6(1), 82-86 (1973).<br />

[128] C.R. Krebs, Stu<strong>die</strong>narbeit zum Thema: “Temperature-dependent investigations of<br />

resistive switching Cu/SiO 2 /Pt memory cells”, Jülich (2009).<br />

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