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Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

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[14] D. J. Beets, Hochauflösende Elektronenstrahllithographie, produtronic 7/8 (1986).<br />

[15] R. Kaesmaier et al., Microelectronic Engineering 53 (1-4), 37 – 45 (2000).<br />

[16] S. Y. Chou et al., Journal of Vacuum Science and Technology B 14 (6), 4129 –<br />

4133 (1996).<br />

[17] I. McMackin et al., Proceedings of SPIE Advanced Lithography (6921), 6921-86<br />

(2008).<br />

[18] S. V. Sreenivasan, MRS Bulletin 33, 854 – 863 (2008).<br />

[19] M. Melliar-Smith, Proceedings of 34 th International Conference on Micro and<br />

Nano Engineering, 51 (2008).<br />

[20] K. T. Kim et al., Proceedings of SPIE Advanced Lithography (6921), 6921-03<br />

(2008).<br />

[21] I. Yoneda et al., Proceedings of SPIE Advanced Lithography (6921), 6921-05<br />

(2008).<br />

[22] M. Hart et al., International Conference on Electron, Ion and Photon Beam<br />

Technology and Nanofabrication (EIPBN) June 2007 and IEEE Lithography<br />

Workshop December 2007.<br />

[23] M. D. Austin et al., Applied Physics Letters 84 (26), 5299 – 5301 (2004).<br />

[24] Q. Xia et al. Proceedings of 34 th International Conference on Micro and Nano<br />

Engineering, 133 (2008).<br />

[25] N. Li et al., Nano Letters 6 (11), 2626 – 2629 (2006)<br />

[26] S. Wuister et al., Proceedings of 34 th International Conference on Micro and<br />

Nano Engineering, 50 (2008).<br />

[27] V. Sirotkin et al., Microelectronic Engineering 84 (5-8), 868 – 871 (2007).<br />

[28] M. Colburn et al., Journal of Vacuum Science and Technology B 19 (6), 2685 –<br />

2689 (2001).<br />

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