Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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7 DIE MEHRLAGEN-ARCHITEKTUR<br />
Pt/Ag-MSQ/Ag-Zelle mit positiven Spannungspolaritäten auszuschalten, um<br />
Unipolarität eindeutig nachzuweisen, scheiterte jedoch. Der Mechanismus des<br />
Eintreibens von Ag in <strong>die</strong> MSQ-Schicht unter positiver Spannung scheint dabei<br />
dominanterer Art zu sein. Es kann also bei Pt/Ag-MSQ/Ag-Zellen nicht von unipolarem<br />
Schalten gesprochen werden, da zwar hohe Ausschaltströme auftreten aber beide<br />
Spannungspolaritäten <strong>für</strong> den Schaltprozess von Nöten sind.<br />
Nichtsdestotrotz konnte generell resistives Schalten in Ag-dotierten Systemen gezeigt<br />
werden, welches zugleich ein weiterführendes, zweites Experiment einleitete. Es sollten<br />
hierin Ag-dotierte MSQ-Bauelemente realisiert werden, welche sowohl aus inerten Pt-<br />
Bottom- als auch Pt-Top-Elektroden bestanden. Ziel war es, <strong>die</strong> Speicherzellen<br />
aufgrund der ausschließlichen Verwendung von Pt-Elektroden temperaturstabiler zu<br />
gestalten. Versuche an Pt/Ag-SiO 2 /Pt-Systemen der Literatur wiesen bereits stark auf<br />
ein Schaltverhalten zwischen zwei Widerstandszuständen hin, wodurch <strong>die</strong> Motivation<br />
des zweiten Experiments gestärkt werden konnte [131].<br />
a) b) c)<br />
d) e)<br />
Abbildung 7.4: Herstellung von Pt/Ag-MSQ/Pt-Crossbar-Strukturen: a) Planarisierung der<br />
Bottom-Elektroden und Dünnen der MSQ-Schicht, b) Aufdampfen von 10 nm Ag, c) Dotieren<br />
der MSQ-Schicht mit Ag bei 450°C unter N 2 -Atmosphäre, d) Entfernen der Ag-Schicht in<br />
einem Ar-RIBE-Prozess, e) Realisierung von Pt-Top-Elektroden mittels Nanoimprint- oder<br />
optischer Lithographie.<br />
Für <strong>die</strong> Realisierung von Pt/Ag-MSQ/Pt-Crossbars wurde der Herstellungsprozess zum<br />
Teil geändert. Abbildung 7.4 stellt <strong>die</strong>se Abänderungen dar. Nach der Planarisierung der<br />
Bottom-Elektroden und dem Dünnen der MSQ-Schicht (Abbildung 7.4 a) wurde eine<br />
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