Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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6 INTEGRATION VON METHYL-SILSESQUIOXAN<br />
Formierungsspannungen sowie <strong>die</strong> SET-Spannungen und <strong>die</strong> RESET-Spannungen an<br />
800°C geheizten MSQ-Schichten mit der gleichen Vorgehensweise wie in Kapitel 6.1<br />
untersucht. Die statistischen Auswertungen der Messungen wurden dann mit denen<br />
verglichen, <strong>die</strong> an konventionell hergestellten MSQ-Schichten (bei 425°C) erstellt<br />
wurden. Abbildung 6.10 stellt <strong>die</strong> Ergebnisse der Messreihe an 800°C geheizten MSQ-<br />
Schichten dar.<br />
Anzahl der Bauelemente [%]<br />
14<br />
12<br />
10<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
0<br />
0 1 2 3 4 5<br />
U FORM [V]<br />
a)<br />
Abbildung 6.10:<br />
Statistische Auswertung der<br />
a) Formierungsspannung,<br />
b) SET-Spannung,<br />
c) RESET-Spannung,<br />
anhand <strong>einer</strong> Testreihe mit 77 von 125<br />
funktionsfähigen 100 nm x 100 nm<br />
Crossbar-Strukturen (61,6 % Ausbeute),<br />
bei denen <strong>die</strong> MSQ-Schicht bei 800°C<br />
ausgeheizt wurde.<br />
Anzahl der Bauelemente [%]<br />
40<br />
30<br />
20<br />
10<br />
0<br />
0 0.5 1 1.5 2<br />
U ON [V]<br />
Anzahl der Bauelemente [%]<br />
40<br />
30<br />
20<br />
10<br />
0<br />
0 -0.5 -1 -1.5 -2<br />
U OFF [V]<br />
b)<br />
c)<br />
Es waren 77 der 125 Zellen funktionsfähig, was <strong>einer</strong> ähnlichen Ausbeute von 61,6 %<br />
im Vergleich zu den Standard-Bauelementen entsprach. Die breitere Verteilung der<br />
Formierungsspannung der Abbildung 6.10 a) unterschied sich hingegen deutlich von der<br />
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