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Application Manual Power Semiconductors - Deutsche ... - Semikron

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2 Grundlagen<br />

Symbol Bezeichnung physikalische Beschreibung<br />

C GE<br />

C CE<br />

G GC<br />

R G<br />

R D<br />

R W<br />

Gate-Emitter-Kapazität<br />

Kollektor-Emitter-<br />

Kapazität<br />

Gate-Kollektor-<br />

Kapazität<br />

Interner Gatewiderstand<br />

Driftwiderstand<br />

lateraler Widerstand<br />

der p-Wanne<br />

Überlappung von Gate und Sourcemetallisierung; abhängig<br />

von der Gate-Emitter-Spannung; unabhängig von der<br />

Kollektor-Emitter-Spannung<br />

Sperrschichtkapazität zwischen n - -Driftzone und p-Wanne;<br />

abhängig von Zellfläche, Durchbruchspannung und Drain-<br />

Source-Spannung<br />

Millerkapazität: gebildet durch Überlappung von Gate und<br />

n - -Driftzone<br />

Widerstand des Polysilizium-Gates; in Modulen mit mehreren<br />

Transistorchips oft zusätzliche Reihenwiderstände zur<br />

Dämpfung von Oszillationen zwischen den Chips<br />

Widerstand der n - -Zone (Basiswiderstand des pnp-<br />

Transistors)<br />

Basis-Emitter-Widerstand des parasitären npn-<br />

Bipolartransistors<br />

Tabelle 2.4.1 Physikalische Ursachen und Bezeichnungen parasitärer Elemente eines IGBT<br />

Neben internen Kapazitäten und Widerständen enthält das Ersatzschaltbild eines IGBT gateseitig<br />

einen „idealen“ MOSFET, einen npn Transistor: n + -Emitterzone (Emitter)/p + -Wanne (Basis)/n-Driftzone<br />

(Kollektor) mit dem lateralen Widerstand der p + -Wanne unterhalb der Emitter als Basis-Emitter-Widerstand<br />

R W<br />

und - mit der Zonenfolge p + -Kollektorzone (Emitter)/n Driftzone (Basis)/p + -Wanne<br />

(Kollektor) - ein pnp-Transistor, der gemeinsam mit dem npn-Transistor eine Thyristorstruktur<br />

bildet. Das Einrasten (latch up) dieses parasitären Thyristors mit Erreichen der Einrastbedingung:<br />

<br />

<br />

1<br />

M mit , <br />

pnp npn T E<br />

npn<br />

pnp<br />

M: Multiplikationsfaktor<br />

a npn<br />

, a pnp<br />

: Stromverstärkungen der Teiltransistoren in Basisschaltung<br />

a T<br />

:<br />

Basistransportfaktor<br />

g E<br />

:<br />

Emitterwirkungsgrad<br />

würde den Verlust der Steuerfähigkeit des IGBT und damit dessen Zerstörung bedeuten und kann<br />

prinzipiell im stationären Betrieb (durch Überschreiten einer kritischen Stromdichte, die mit ansteigender<br />

Chiptemperatur sinkt) oder auch während des Ausschaltens (dynamisches latch-up<br />

aufgrund des gegenüber dem stationären Ein-Zustand höheren Löcherstromes) erfolgen. Bei allen<br />

modernen IGBT wird dieses Einrasten durch entsprechende Design-Maßnahmen unter allen<br />

zulässigen statischen und dynamischen Betriebsbedingungen zuverlässig verhindert und würde<br />

während des Ausschaltens erst bei einem Vielfachen der Nennstromdichte erfolgen.<br />

Diese Maßnahmen bestehen z.B. darin, den Basis-Emitter-Widerstand R W<br />

des npn-Teiltransistors<br />

durch hohe Dotierung der p + -Wanne direkt unterhalb der n-Emitter, sowie durch Verringerung der<br />

n-Emitterlänge soweit zu verringern, dass die Schwellenspannung der Basis-Emitter-Diode des<br />

npn-Transistors in keinem zulässigen Betriebsfall erreicht wird. Weiterhin wird der Löcherstrom<br />

(Basisstrom des npn-Transistors) durch Einstellung einer niedrigen Stromverstärkung im pnp-<br />

Transistor sehr klein gehalten, wobei ein Kompromiss zwischen Schaltverhalten und Robustheit<br />

einerseits und den Durchlasseigenschaften andererseits getroffen werden muss.<br />

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