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SKiN Technology - Semikron

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Leistungsbauteile und Powermodule<br />

Einen Schritt voraus sein<br />

Aufbau- und Verbindungstechnik optimiert Leistungselektronik<br />

Applikationsbereiche, wie regenerative Energien oder Elektromobilität sowie Themen, wie Energieeinsparung,<br />

lassen sich ohne die entsprechende Leistungselektronik nicht bewerkstelligen. Eine wichtige Rolle spielt dabei die<br />

Aufbau- und Verbindungstechnik. Hier gilt es technische Grenzen, beispielsweise Lötverbindungen oder Bodenplatte,<br />

zu überwinden. Welche Lösungen und Trends es gibt, zeigt <strong>Semikron</strong>. Autor: Thomas Grasshoff<br />

Die Leistungselektronik leistet einen zunehmenden Beitrag<br />

bei aktuellen Trendthemen, wie regenerative Energien,<br />

Elektromobilität und Energieeinsparung. Diese Anwendungsfelder<br />

ließen sich nur mit Hilfe von Innovationen<br />

erschließen, denn die Anforderungen der verschiedenen Märkte<br />

erfordern technologische Lösungen, die über den allgemeinen Industriestandard<br />

der 90er Jahre hinausgehen. <strong>Semikron</strong> versucht<br />

Trends frühzeitig aufzuspüren und stellt entsprechende Technologien<br />

zur Verfügung. Dafür werden kontinuierlich die Limits existierender<br />

Technologien durch neue Wege ersetzt. Wärmeleitpaste<br />

und Drahtbonds sind die verbliebenen Erb stücke des Industriemoduls<br />

und die werden nun für bestimmte Applikationen durch<br />

hochzuverlässige Sinterschichten und flexible Platinen ersetzt. Die<br />

weltweit in den Fokus gerückte Umweltpolitik und ein stärker an<br />

Umweltaspekten ausgerichtetes Konsumentenverhalten bei der<br />

Auswahl von Energiequellen hat den Einfluss der Leistungselektronik<br />

als Möglichkeit der Energieumwandlung und -steuerung<br />

wachsen lassen. Produkte und Anwendungen werden auf Wirkungsgrad,<br />

Zuverlässigkeit und Kompaktheit optimiert. Leistungselektronik<br />

ist eine Schlüsseltechnologie, um eine zukünftige Mobilität<br />

auf Basis der Hybridtechnik und der Elektrofahrzeuge zu ermöglichen<br />

sowie steigenden Emissionen und abnehmenden Ressourcen<br />

entgegenzutreten. Um den Anforderungen dieser Märkte<br />

gerecht zu werden und die Akzeptanz zu verbessern, sind Weiterentwicklungen<br />

der Leistungselektronik unumgänglich.<br />

Wichtige Themen: die Leistungsdichten erhöhen, das Bauvolumen<br />

reduzieren und die Zuverlässigkeit verbessern. Für Leistungselektronikhersteller<br />

ist es eine Herausforderung, diese diametralen<br />

Bilder: <strong>Semikron</strong><br />

Drahtbonds und Wärmeleitpaste<br />

ade: Moderne Methoden der<br />

Verbindungstechnik, wie das<br />

Silbersintern, verbessern die<br />

Leistungselektronik.<br />

12 elektronikJOURNAL 02/2011<br />

www.elektronikjournal.com


Leistungsbauteile und Powermodule<br />

Anforderungen zu realisieren. Zusätzlich werden immer höhere<br />

Leistungen gefordert – das heißt, Themen, wie Parallelschaltung<br />

und thermisches Management, erhalten zusätzliche Bedeutung.<br />

Die Leistungselektronik für die stark wachsenden Märkte erneuerbare<br />

Energien und Elektrofahrzeuge profitiert in zwei Bereichen:<br />

Erstens sind Leistungshalbleiter für die Energieumwandlung bei<br />

der Erzeugung notwendig, zum Beispiel für Umrichter in Windkrafträdern.<br />

Zweitens sind diese Bauelemente das Kernelement bei<br />

drehzahlgesteuerten Umrichtern und damit der effizienten Energie-Nutzbarmachung.<br />

Schlüsselfaktoren: hohe Zuverlässigkeit<br />

und niedrige Kosten<br />

In elektrisch betriebenen Fahrzeugen muss die Leistungselektronik<br />

besonders platzsparend und gewichtsarm sein. Darüber hinaus<br />

muss sie auch zuverlässig in rauer Umgebung funktionieren. Um<br />

diesen Anforderungen gerecht zu werden, hat <strong>Semikron</strong> den klassischen<br />

Technologieweg der Modulbasis verlassen und soweit wie<br />

möglich alle Funktionen des leistungselektronischen Systems mechanisch<br />

integriert. Bild 1 zeigt das aktuelle System für Flurförderfahrzeuge.<br />

Die Herausforderung in der Entwicklung liegt darin,<br />

widerstrebende elektrische, mechanische und thermische Ansprüche<br />

mit höchstmöglicher Zuverlässigkeit und zu vernünftigen<br />

Kosten zu realisieren. Der Umrichter mit einem Volumen von 5,7<br />

Litern hat einen Spitzenstrom von 400 A eff<br />

bei einer Batteriespannung<br />

von 160 V und lässt sich direkt auf der Antriebsachse eines<br />

Fahrzeugs montieren. Für diese Anordnung muss das System eine<br />

einwandfreie Funktion bei Vibrationen von 12 g und mechanischem<br />

Stoß bis 100 g gewähren, und das für 20.000 Betriebsstunden<br />

unter Außentemperaturen zwischen -40 und +85 °C.<br />

Schon für die ersten Windkraftanlagen entwickelte <strong>Semikron</strong><br />

vor 20 Jahren IGBT-Module, die mit einer modernen Druckkontakttechnik<br />

und funktionaler Integration von Leistung, Ansteuerung<br />

und Sensorik den Herausforderungen dieser Applikation in<br />

Bezug auf Langzeitzuverlässigkeit und Leistungsdichte gewachsen<br />

waren. Heute sind SKiiP-IPMs der dritten Generation im Einsatz.<br />

Mehr als 80 GW wurden bisher installiert, was in etwa der Hälfte<br />

der bis heute installierten Windgenerator-Leistung entspricht.<br />

Nun ist die vierte Generation, der SKiiP4, in der Markteinführungsphase.<br />

Das SKiiP4-Leistungsmodul in der Sechsfach-Ausführung,<br />

wie in Bild 2 zu sehen, leistet 3600 A. Im Vergleich: das<br />

SKiiP3 als Vierfach-Ausführung bietet 1800 A, jeweils für eine<br />

Sperrspannung von 1700 V. Mit SKiiP4 gelang es <strong>Semikron</strong> ein<br />

IPM zu entwickeln, das bei identischer Baugröße 30 Prozent höhere<br />

Leistung ermöglicht. Im Leistungshalbleitermodul werden die<br />

IGBT- und Diodenchips nicht auf das Substrat gelötet, sondern gesintert.<br />

Zwischenkreisspannungen bis zu 1300 V lassen sich durch<br />

eine verbesserte Ansteuerung sicher beherrschen. Zudem werden<br />

Anforderungen hinsichtlich der Anlagenaufstellung in größerer<br />

Höhe über dem Meeresspiegel und außerhalb des Küstenbereichs<br />

erfüllt. Zur Absicherung der geforderten niedrigen Ausfallwahrscheinlichkeit<br />

unterzieht <strong>Semikron</strong> jede Einheit vor Auslieferung<br />

einem Burn-in-Test. Wenn die Leistungselektronik in den Massenmarkt<br />

Automobil eingesetzt wird, müssen die Systeme kleiner und<br />

zuverlässiger werden. Das gleiche gilt für Windkraftanlagen. Bei<br />

Off-Shore-Installationen sind Wartungseinsätze extrem teuer.<br />

Im Blickpunkt: Aufbau- und Verbindungstechnik<br />

Bei der klassischen Aufbau- und Verbindungstechnik existieren<br />

heute fünf unterschiedliche technische Limits, die es in der Leistungselektronik<br />

zu überwinden gilt: Die Lötverbindungen, die Bodenplatten,<br />

das Modul layout, die Chiptemperaturen sowie die<br />

Stromdichten.<br />

■■ Lötverbindungen: In einem konventionell gelöteten Leistungsmodul<br />

mit einer Kupferbodenplatte stellt die Lötverbindung in der<br />

Regel den mechanisch schwächsten Punkt des Gesamtsystems dar:<br />

Durch die unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der Materialien,<br />

durch hohe Temperaturänderungen und wechselnde elektrische<br />

Lasten während des Betriebes entstehen Ermüdungserscheinungen<br />

der Lötlagen im Modulaufbau. Indizien dafür sind die sich<br />

während des Betriebes erhöhenden thermischen Widerstände, die<br />

zu hohen Chiptemperaturen führen. Dieser Wechselwirkungsprozess<br />

führt unweigerlich zu einem Komponentenfehler durch<br />

abhebende Bonddrähte. Zusätzlich gibt es bei gelöteten Verbindungen<br />

zu einer Leiterplatte das Zuverlässigkeitsrisiko kalter Lötstellen.<br />

■■ Bodenplatten: Die Bodenplatten für Module mit großen Abmessungen<br />

und höherer Leistung können in Bezug auf thermische<br />

und mechanische Performance nur mit technischen Schwierigkeiten<br />

und unter hohen Kosten realisiert werden. Die einseitige<br />

Substrat lötung erzeugt einen Bimetalleffekt, der nicht homogene<br />

Verwindungen verursacht. Dadurch ist die thermische Anbindung<br />

an den Kühlkörper nicht optimal. Anstelle einer Kühlkörperanbindung<br />

mit quasi metallischem Kontakt muss die Lücke zwischen<br />

Bodenplatte und Kühlkörper mit einer Wärmeleitpaste ausgefüllt<br />

werden, die von Haus aus schlechte thermische Eigenschaften mitbringt.<br />

Ergebnis: eine Barriere im thermischen Gesamtsystem. Die<br />

Wärmeleitpaste hat einen thermischen Widerstand der 400-mal<br />

höher als der von Kupfer ist. Diese Schicht ist für bis zu 60 Prozent<br />

des thermischen Widerstandes zwischen Chip und Kühlmedium<br />

verantwortlich.<br />

■■ Das Modullayout: Bei Modulen ab 150 A müssen Chips auf der<br />

DCB parallel geschaltet werden, um größere Stromratings zu erzielen.<br />

Durch die mechanischen Restriktionen beim Layout konventioneller<br />

Bodenplattenmodule ist eine ideale Symmetrie oft<br />

nicht erreichbar. Das Ergebnis sind Inhomogenitäten im Schaltverhalten<br />

parallel geschalteter Chips und unterschiedliche Ströme<br />

an den Chippositionen. Deshalb wird im Datenblatt immer der<br />

schwächste Chip spezifiziert. Interne Aufbauten mit Bonddrähten<br />

oder Verbindern verschlechtern die Leitwiderstände im Modul<br />

und führen zu hohen Streuinduktivitäten.<br />

■■ Chiptemperaturen: Weiterentwicklungen in der IGBT-Technologie<br />

ermöglichen feinere IGBT-Zellstrukturen und damit kleinere<br />

Chips. Das wird auch durch den Druck, die Kosten der Leistungshalbleiter<br />

zu minimieren, forciert. Mit kleineren Komponenten<br />

geht eine Erhöhung der Stromdichten einher, denn die Chips sind<br />

die letzten Jahre im Schnitt um 35 Prozent kleiner geworden.<br />

Auf einen Blick<br />

Grün denken und handeln<br />

In Zeiten von Green Electronics zur Energieeinsparung und Klimaschonung<br />

gewinnt die Leistungselektronik zunehmend an Bedeutung.<br />

Um die Leistungsdichte von Leistungsbausteinen zu erhöhen und diese<br />

somit energieeffizienter sowie zuverlässiger zu gestalten, spielt<br />

die Aufbau- und Verbindungstechnik eine wichtige Rolle. Hier haben<br />

Wärmeleitpaste und Drahtbonds – Erbstücke des Industriemoduls –<br />

so langsam ausgespielt. An ihrer Stelle werden in naher Zukunft in<br />

bestimmten Applikationen hochzuverlässige Sinterschichten und<br />

Folien zum Einsatz kommen.<br />

infoDIREKT www.all-electronics.de <br />

109ejl0211<br />

www.elektronikjournal.com elektronikJOURNAL 02/2011<br />

13


Leistungsbauteile und Powermodule<br />

Bild 1 (links): Das Skai-System für Flurförderfahrzeuge<br />

hat ein Volumen von 5,7 Litern und ist für einen<br />

Spitzenstrom von 400 A eff<br />

bei einer Batteriespannung von<br />

160 V ausgelegt.<br />

Bild 2 (rechts): Ermöglicht im Vergleich zu Vorgängergenerationen<br />

bei gleicher Baugröße etwa 30 Prozent mehr<br />

Leistung: Das SKiiP4-IPM in der 6-fach-Ausführung.<br />

Bild 3 (unten): Modernes Verfahren: Die Silber-Sintertechnologie<br />

kommt auch für die Chipoberseite und die<br />

thermische Verbindung zum Kühlkörper zum Einsatz.<br />

Bilder: <strong>Semikron</strong><br />

Gleichzeitig sind die maximalen Sperrschichttemperaturen auf<br />

175 °C gestiegen. Das bedeutet, dass die Module einerseits kompakter<br />

werden, aber andererseits, dass der Temperaturgradient<br />

zwischen IGBT und Umgebungstemperatur größer wird. Dadurch<br />

steigen die Belastungen für die Materialien. Eine Erhöhung der<br />

Temperatur um 25 Kelvin bedeutet eine Verringerung der Zuverlässigkeit<br />

um den Faktor 5. Anmerkung: Mit neuen Halbleitermaterialien,<br />

wie Siliziumkarbid und Galliumnitrid, lassen sich höhere<br />

Temperaturen realisieren.<br />

■■ Stromdichten: Moderne IGBT- und Mosfet-Chips überzeugen<br />

im Vergleich zu Vorgängermodellen mit höheren Stromdichten.<br />

Das konventionelle Aluminimum-Dickdrahtbonden stellt bei kleinen<br />

Oberseitenkontakten ein Hindernis für höhere Lastströme<br />

und verbesserte Zuverlässigkeit dar. Es ist zwar möglich, das<br />

Drahtbonden weiter zu optimieren und neue Materialien einzusetzen<br />

– das bedeutet aber einen erheblichen Aufwand bei der Chipherstellung<br />

und damit höhere Kosten der Halbleiter.<br />

Die fünf beschriebenen Limits der Aufbau- und Verbindungstechnologie<br />

sind voneinander unabhängige Faktoren. Deshalb ist<br />

es sinnvoll nach einer integralen technischen Lösung anstelle von<br />

Einzellösungen zu suchen.<br />

Lötverbindungen zwischen Chip und DCB ersetzen<br />

Das Silber-Sintern ist bereits heute ein Serienverfahren, um Lötverbindungen<br />

zwischen Chip und DCB zu ersetzen. Durch die hohe<br />

Schmelztemperatur von 962 °C im Vergleich zu klassischen<br />

Loten ist die Zuverlässigkeit einer Sinterschicht um ein Vielfaches<br />

höher. Sie ermöglicht damit den Einsatz der Leistungselektronik<br />

bei hohen Temperaturen in anspruchsvollen Anwendungen, wie<br />

Fahrzeugen. Vorteil: Die maximale Sperrschichttemperatur von<br />

175 °C beträgt nur 18 Prozent der Schmelztemperatur der Sinterlage.<br />

Das ist ein großer Unterschied zur klassischen Lötverbindung,<br />

wo die maximale Chiptemperatur bei 60 Prozent der Schmelztemperatur<br />

liegt und damit zu den bereits erwähnten Degradierungen<br />

führt. Allerdings bleibt eine Zuverlässigkeitsbarriere erhalten –<br />

nämlich die Bonddrähte auf der Chipoberseite.<br />

Der Ersatz der Bonddrähte auf der Chipoberseite wird in der<br />

Industrie und auf Konferenzen bereits seit einigen Jahren disku-<br />

tiert. Die meisten Ansätze basieren auf Lötungen und integrierten<br />

Verbindungstechnologien.<br />

Silber-Sintertechnologie sorgt für höhere Leistungsdichte<br />

Ein neues Verfahren: die Silber-Sintertechnologie auch auf die<br />

Chipoberseite und die thermische Verbindung zum Kühlkörper<br />

anwenden. Die Chips werden durch Sinterverfahren auf der Oberseite<br />

an eine flexible und strukturierte Platine angebunden. Die<br />

Leiterstrukturen sind so dick, dass sie Lastströme tragen können.<br />

Die DCB-Unterseite wird direkt auf den Kühlkörper gesintert, wie<br />

Bild 3 verdeutlicht. Auch die elektrischen Hauptanschlüsse lassen<br />

sich auf die DCB sintern und können damit bisherige Löt- oder<br />

Bondverbindungen ersetzen. Der Ersatz der Wärmeleitpaste mit<br />

Hilfe einer Silber-Sinterlage und damit die Reduktion des thermischen<br />

Widerstandes macht es möglich, die Leistungsdichte um<br />

über 30 Prozent zu erhöhen. Die flexible Platine mit der flächigen<br />

Chip-Kontaktierung anstelle von Bonddrähten verbessert die Zuverlässigkeit.<br />

Die bessere Übereinstimmung der thermischen Ausdehnungskoeffizienten<br />

zwischen der Kontaktfläche des Chips und<br />

dem Material der Platine ist der Grund für die verbesserte Lastwechselfestigkeit.<br />

Damit ist eine Aufbautechnik ohne Drahtbonds,<br />

Lötungen und Wärmeleitpaste möglich.<br />

Fazit<br />

Die Silber-Sintertechnologie bietet Potenzial für technische Weiterentwicklungen.<br />

Stromsensorik und Gate-Ansteuerung werden<br />

ständig weiter miniaturisiert. Auf der Oberseite der Platine ist zukünftig<br />

eine 3D-Integration möglich. So wird es mit dieser Technologie<br />

möglich sein, Umrichter zu bauen, die im Vergleich zum<br />

heutigen, modernen System nochmals eine Erhöhung des spezifischen<br />

Leistungsvolumens von bis zu 100 Prozent realistisch erscheinen<br />

lassen. Die Technologie wird ihre Vorteile am besten<br />

durch integrierte, kompakte Systeme mit optimaler mechanischer<br />

Integration entfalten. (eck)<br />

n<br />

Der Autor: Thomas Grasshoff ist Leiter Internationales<br />

Produktmanagement bei <strong>Semikron</strong> in Nürnberg.<br />

14 elektronikJOURNAL 02/2011<br />

www.elektronikjournal.com

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