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Chemie Diplomarbeit / Fakultät für Chemie und Pharmazie ...

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Modifikation <strong>und</strong> Charakterisierung von Mikroelektrodenstrukturen zur Optimierung der kapazitiven Kommunikation mit Nervenfasern<br />

Elektrolyt/Arbeitselektroden-Grenzfläche<br />

Elektrolyt/Gegenelektroden-Grenzfläche<br />

C DS<br />

C DS<br />

R<br />

E<br />

R<br />

Dt<br />

Z<br />

W<br />

R<br />

Dt<br />

Abbildung 17: Ersatzschaltbild für das Gesamtsystem (Berücksichtigung des schraffierten Ersatzschaltkreises) <strong>und</strong><br />

Ersatzschaltbild für das Gesamtsystem unter Vernachlässigung des Impedanzanteils der Gegenelektrode: RANDELS-<br />

Ersatzschaltkreis (Vernachlässigung des schraffierten Bereiches) .<br />

Wählt man die Gegenelektrode groß genug, so läßt sich ihr Impedanzanteil vernachlässigen.<br />

Das Ersatzschaltbild vereinfacht sich dann zu dem nach RANDELS benannten Ersatzschaltbild,<br />

das die geometrische Kapazität, die sich zwischen gegenüber angeordneten Metallelektroden<br />

ergibt, die endliche Aufladungsgeschwindigkeit der Doppelschichtkapazitäten <strong>und</strong> die<br />

endliche Zellgeometrie vernachlässigt.<br />

2.3<br />

Verwendete Materialien<br />

Die vom Institut für Biomedizinische Technik (IBMT), Abteilung Sensor<br />

Systeme/Mikrosysteme, der Fraunhofer-Gesellschaft in St. Ingbert, Saarland, zur Verfügung<br />

gestellten Mikroelektrodenstrukturen (dice, Einzahl: die) sind auf gepreßten Al 2 O 3 -<br />

Keramikträgern aufgebracht (Widerstand: 10 12 Ω). Der Träger ist mit 10 in<br />

Dickschichttechnik hergestellten Leiterbahnen aus einer Silber/Palladiumlegierung versehen,<br />

die am Ende mit aufgelöteten Mikrosteckern kontaktiert werden können. Zwischen den<br />

Leiterbahnen befindet sich ein Dielektrikum. Die dice selbst sind über Golddrähte (wedgebond-Technik)<br />

mit den vergoldeten Leiterbahnenden auf dem Träger kontaktiert.<br />

Silikonkautschuk bedeckt die Kontaktierung, die dadurch auch gegen mechanische Einflüsse<br />

geschützt ist. Die zum Einsatz gekommenen Mikroelektrodenstrukturen haben folgende<br />

Abmessungen:<br />

32

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