Chemie Diplomarbeit / Fakultät für Chemie und Pharmazie ...
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Modifikation <strong>und</strong> Charakterisierung von Mikroelektrodenstrukturen zur Optimierung der kapazitiven Kommunikation mit Nervenfasern<br />
Elektrolyt/Arbeitselektroden-Grenzfläche<br />
Elektrolyt/Gegenelektroden-Grenzfläche<br />
C DS<br />
C DS<br />
R<br />
E<br />
R<br />
Dt<br />
Z<br />
W<br />
R<br />
Dt<br />
Abbildung 17: Ersatzschaltbild für das Gesamtsystem (Berücksichtigung des schraffierten Ersatzschaltkreises) <strong>und</strong><br />
Ersatzschaltbild für das Gesamtsystem unter Vernachlässigung des Impedanzanteils der Gegenelektrode: RANDELS-<br />
Ersatzschaltkreis (Vernachlässigung des schraffierten Bereiches) .<br />
Wählt man die Gegenelektrode groß genug, so läßt sich ihr Impedanzanteil vernachlässigen.<br />
Das Ersatzschaltbild vereinfacht sich dann zu dem nach RANDELS benannten Ersatzschaltbild,<br />
das die geometrische Kapazität, die sich zwischen gegenüber angeordneten Metallelektroden<br />
ergibt, die endliche Aufladungsgeschwindigkeit der Doppelschichtkapazitäten <strong>und</strong> die<br />
endliche Zellgeometrie vernachlässigt.<br />
2.3<br />
Verwendete Materialien<br />
Die vom Institut für Biomedizinische Technik (IBMT), Abteilung Sensor<br />
Systeme/Mikrosysteme, der Fraunhofer-Gesellschaft in St. Ingbert, Saarland, zur Verfügung<br />
gestellten Mikroelektrodenstrukturen (dice, Einzahl: die) sind auf gepreßten Al 2 O 3 -<br />
Keramikträgern aufgebracht (Widerstand: 10 12 Ω). Der Träger ist mit 10 in<br />
Dickschichttechnik hergestellten Leiterbahnen aus einer Silber/Palladiumlegierung versehen,<br />
die am Ende mit aufgelöteten Mikrosteckern kontaktiert werden können. Zwischen den<br />
Leiterbahnen befindet sich ein Dielektrikum. Die dice selbst sind über Golddrähte (wedgebond-Technik)<br />
mit den vergoldeten Leiterbahnenden auf dem Träger kontaktiert.<br />
Silikonkautschuk bedeckt die Kontaktierung, die dadurch auch gegen mechanische Einflüsse<br />
geschützt ist. Die zum Einsatz gekommenen Mikroelektrodenstrukturen haben folgende<br />
Abmessungen:<br />
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