4) Piezokeramische Werkstoffe und ihre Anwendungen in der Technik
4) Piezokeramische Werkstoffe und ihre Anwendungen in der Technik
4) Piezokeramische Werkstoffe und ihre Anwendungen in der Technik
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
4) <strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>ihre</strong> <strong>Anwendungen</strong> <strong>in</strong> <strong>der</strong> <strong>Technik</strong><br />
• Dr. Günter Helke,<br />
CeramTec AG,<br />
Lauf a. d. Pegnitz<br />
Die Folien f<strong>in</strong>den Sie ab Seite 163.<br />
Piezoelektrische Keramiken<br />
Physikalische Eigenschaften <strong>und</strong> praktische <strong>Anwendungen</strong> <strong>in</strong> <strong>der</strong><br />
Ultraschalltechnik <strong>und</strong> Sensortechnik<br />
Zusammenfassung<br />
Piezoelektrische Keramiken s<strong>in</strong>d spezielle Ferroelektrika, die durch Polung<br />
piezoelektrische Eigenschaften besitzen. Die Polung <strong>der</strong> keramischen<br />
Ferroelektrika wird durch E<strong>in</strong>wirkung e<strong>in</strong>es starken elektrischen<br />
Gleichfeldes unterhalb <strong>der</strong> Curietemperatur möglich. Piezokeramiken auf<br />
<strong>der</strong> Basis des b<strong>in</strong>ären Systems <strong>der</strong> festen Lösungen von Bleizirkonat<br />
PbZrO 3 <strong>und</strong> Bleititanat PbTiO 3 werden wegen <strong>ihre</strong>r excellenten, durch<br />
Dotierungen auf die jeweiligen <strong>Anwendungen</strong> zugeschnittenen physikalischen<br />
Eigenschaften <strong>in</strong> <strong>der</strong> <strong>in</strong>dustriellen Fertigung favorisiert. Dank <strong>der</strong><br />
großen Vielfalt <strong>der</strong> aus ihnen herzustellenden Bauteile kommen die piezoelektrischen<br />
Keramiken für elektromechanische Wandler <strong>in</strong> vielen Bereichen<br />
<strong>der</strong> <strong>Technik</strong> zum E<strong>in</strong>satz.<br />
E<strong>in</strong>leitung<br />
Die epochemachende Entwicklung von Bleizirkonat- Titanat- Keramiken<br />
(PZT) vor mehr als 30 Jahren führte zu e<strong>in</strong>er Vielfalt von piezokeramischen<br />
Bauteilen für die praktische Anwendung. Gegenwärtig ist nicht<br />
abzusehen, daß e<strong>in</strong>e an<strong>der</strong>e Werkstoff- Kategorie auch nur annähernd<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
159
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Eigenschaften wie die <strong>der</strong> Bleizirkonat- Titanat- Keramiken aufweisen<br />
könnte.<br />
160<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Durch Modifikation <strong>der</strong> chemischen Zusammensetzung von Piezokeramiken<br />
auf <strong>der</strong> Basis von Bleizirkonat- Titanat ist die Optimierung <strong>der</strong><br />
funktionellen Eigenschaften entsprechend den Erfor<strong>der</strong>nissen <strong>der</strong> jeweiligen<br />
praktischen Anwendung möglich.<br />
Hauptanwendungsgebiete <strong>der</strong> piezoelektrischen Bleizirkonat- Titanat-<br />
Keramiken s<strong>in</strong>d die Ultraschalltechnik <strong>und</strong> Hydroakustik, die Automobiltechnik,<br />
die Mediz<strong>in</strong>technik , die Meßtechnik sowie die Haushaltstechnik.<br />
1. Physikalische Eigenschaften piezoelektrischer Keramiken<br />
Die Piezoelektrizität<br />
Die Piezoelektrizität ist e<strong>in</strong>e Eigenschaft von dielektrischen festen Körpern<br />
<strong>und</strong> beschreibt e<strong>in</strong>e Kopplung zwischen mechanischen <strong>und</strong> elektrischen<br />
Größen. Wenn e<strong>in</strong> frei deformierbarer fester Körper e<strong>in</strong>er mechanischen<br />
Spannung T i (Druck, Zug) ausgesetzt ist, tritt e<strong>in</strong>e zusätzliche<br />
elektrische Polarisation P j auf.<br />
Dementsprechend wird an <strong>der</strong> Oberfläche e<strong>in</strong>es piezoelektrischen Körpers<br />
durch e<strong>in</strong>e mechanische Spannung T i e<strong>in</strong>e elektrische Ladung <strong>in</strong>duziert.<br />
Mit diesem Vorgang ist <strong>der</strong> direkte piezoelektrische Effekt def<strong>in</strong>iert<br />
(Bild 1, l<strong>in</strong>ks).<br />
E<strong>in</strong>e Umkehrung ist gegeben durch e<strong>in</strong>e Deformation S j , die bei E<strong>in</strong>wirkung<br />
e<strong>in</strong>er elektrischen Feldstärke E i entsteht. E<strong>in</strong> elektrisches Feld E i<br />
bewirkt <strong>in</strong> Abhängigkeit von <strong>der</strong> Richtung e<strong>in</strong>e Dilatation o<strong>der</strong> e<strong>in</strong>e Kontraktion,<br />
die <strong>der</strong> elektrischen Feldstärke E i proportional ist.<br />
Mit diesem Vorgang ist <strong>der</strong> <strong>in</strong>verse piezoelektrische Effekt def<strong>in</strong>iert (Bild<br />
1, rechts).<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
161
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Die Proportionalitäts- Konstante d ij ist die piezoelektrische Konstante,<br />
die für beide Effekte numerisch identisch ist.<br />
++++++++++<br />
l<br />
Deformation l<br />
l +∆ l<br />
- - - - - - - -<br />
Q = d 33 x F<br />
Ladung proportional<br />
<strong>der</strong> Kraft<br />
Spannung U<br />
D l = d 33 x U<br />
D<br />
Deformation proportional <strong>der</strong><br />
Spannung<br />
Bild 1. Direkter <strong>und</strong> <strong>in</strong>verser piezoelektrischer Effekt<br />
Die Piezoelektrizität ferroelektrischer Keramiken<br />
Piezoelektrische Keramiken s<strong>in</strong>d spezielle Ferroelektrika , <strong>der</strong>en Verhalten<br />
im elektrischen Feld die Piezoelektrizität bed<strong>in</strong>gt. Die Polarisationseffekte<br />
<strong>in</strong> ferroelektrischer Keramik ergeben sich aus den Beson<strong>der</strong>heiten<br />
<strong>der</strong> keramischen Mikrostruktur bei Auftreten <strong>der</strong> spontanen Polarisation<br />
bei e<strong>in</strong>er bestimmten Temperatur, <strong>der</strong> sog. Curietemperatur. Als Ergebnis<br />
des S<strong>in</strong>terprozesses ist jedes kristall<strong>in</strong>e Korn von an<strong>der</strong>en Körnern<br />
umgeben. Bei <strong>der</strong> Temperatur <strong>der</strong> Umwandlung <strong>in</strong> den ferroelektrischen<br />
Zustand wird jedes Korn <strong>in</strong> e<strong>in</strong>heitlich polarisierte Domänen aufgespalten.<br />
Die Dipolmomente s<strong>in</strong>d allerd<strong>in</strong>gs aufgr<strong>und</strong> <strong>der</strong> statistischen Verteilung<br />
<strong>der</strong> Polarisationsrichtungen kompensiert. Demzufolge ist die Mikrostruktur<br />
<strong>der</strong> ferroelektrischen Keramik nach <strong>der</strong> Synthese <strong>und</strong> Abkühlung un-<br />
162<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
ter die Curietemperatur isotrop. Erst durch die E<strong>in</strong>wirkung e<strong>in</strong>es äußeren<br />
elektrischen Gleichfeldes wird die Polung des polykristall<strong>in</strong>en Körpers<br />
möglich (Bild 2), <strong>und</strong> es tritt e<strong>in</strong>e endliche remanente Polarisation auf.<br />
P r<br />
Dehnung durch remanente Dehnung des<br />
elektrisches Feld<br />
Vor <strong>der</strong> Polung Während d. Polung Nach <strong>der</strong> Polung<br />
Die Keramik ist nach Abschalten des elektrischen Feldes gepolt.<br />
Bild 2. Polare Struktur von Piezokeramiken<br />
Nach <strong>der</strong> Polung entsteht e<strong>in</strong> metastabiler Zustand von Domänenkonfigurationen.<br />
Die für die Polung erfor<strong>der</strong>liche Beweglichkeit <strong>der</strong> Domänen<br />
trägt <strong>in</strong> direkter Weise zu dem dielektrischen <strong>und</strong> elektromechanischen<br />
Verhalten <strong>der</strong> Piezokeramiken bei.<br />
Die Stabilität <strong>der</strong> sich aus dem Polungsprozeß ergebenden remanenten<br />
Polarisation bestimmt auch die Alterungsrate <strong>der</strong> jeweiligen piezoelektrischen,<br />
elastischen o<strong>der</strong> dielektrischen Koeffizienten.<br />
2. Zusammensetzung piezoelektrischer Keramiken<br />
Bleizirkonat- Titanat- Keramik (PZT)<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
163
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Bleizirkonat- Titanat- Keramik zeigt als ferroelektrisches Material mit<br />
großer remanenter Polarisation <strong>und</strong> hoher Dielektrizitätszahl e<strong>in</strong>en großen<br />
piezoelektrischen Effekt.<br />
Piezokeramiken auf <strong>der</strong> Basis des b<strong>in</strong>ären Systems <strong>der</strong> festen Lösungen<br />
von Bleititanat PbTiO 3 <strong>und</strong> Bleizirkonat PbZrO 3 werden wegen <strong>ihre</strong>r<br />
excellenten, durch Dotierungen auf die jeweiligen <strong>Anwendungen</strong> zugeschnittenen<br />
physikalischen Eigenschaften seit langem <strong>in</strong> <strong>der</strong> <strong>in</strong>dustriellen<br />
Fertigung favorisiert.<br />
3. Anwendung piezoelektrischer Keramiken<br />
Die Anwendung <strong>der</strong> piezoelektrischen Keramiken dehnte sich aus <strong>in</strong><br />
dem Maße, wie <strong>der</strong> Herstellungsprozeß für diese Keramiken entwickelt<br />
werden konnte. E<strong>in</strong> wesentlicher Aspekt ist die Synthese von Bleizirkonat-<br />
Titanat- Keramiken mit e<strong>in</strong>er anspruchsvollen Spezifikation bei niedrigen<br />
Kosten e<strong>in</strong>er großvolumigen Produktion. Nicht zu unterschätzen ist<br />
dabei jedoch, daß auch spezielle <strong>Anwendungen</strong>, die ke<strong>in</strong>e großvolumige<br />
Produktion voraussetzen <strong>und</strong> relativ hohe Kosten <strong>und</strong> Preise tolerieren,<br />
weiterh<strong>in</strong> e<strong>in</strong> außergewöhnliches Wachstum erfahren.<br />
Der vorteilhafte E<strong>in</strong>satz von Piezokeramiken als Wandler- <strong>Werkstoffe</strong><br />
folgt aus den hervorragenden piezoelektrischen Eigenschaften <strong>der</strong> <strong>in</strong><br />
großer Formenvielfalt herstellbaren Bauteile.<br />
<strong>Piezokeramische</strong> Bauteile können entsprechend <strong>der</strong> Anwendung <strong>der</strong><br />
piezoelektrischen Effekte (vgl. Bild1) <strong>in</strong> drei Gruppen klassifiziert werden,<br />
je nachdem ob <strong>der</strong> direkte piezoelektrische Effekt (Umwandlung e<strong>in</strong>er<br />
mechanischen Größe <strong>in</strong> e<strong>in</strong>e elektrisches Signal), <strong>der</strong> <strong>in</strong>verse piezoelektrische<br />
Effekt (Erzeugung von Deformationen/ Schw<strong>in</strong>gungen<br />
durch e<strong>in</strong>e elektrische Spannung) o<strong>der</strong> beide Effekte genutzt werden, s.<br />
Tabelle 1.<br />
164<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Direkter<br />
piezoelektrischer Effekt<br />
Inverser<br />
piezoelektrischer Effekt<br />
Beide Effekte<br />
Mechano- elektrische Wandler<br />
Schall- <strong>und</strong><br />
Ultraschallgeber<br />
Ultraschall- Signalverarbeitung<br />
• Piezotasten • Tongeber • Sonartechnik<br />
• Sensoren • Leistungs- Ultraschallgeber • Ultraschall-<br />
Materialprüfung<br />
Elektroakustische Wandler • Mediz<strong>in</strong>ische Diagnostik<br />
• Schall- <strong>und</strong> Ultraschall-<br />
Empfänger<br />
Aktoren<br />
Tabelle 1. E<strong>in</strong>satzbereiche piezoelektrischer Wandler<br />
• Entfernungs- <strong>und</strong> Füllstandsmessung<br />
• Multilayer • Annäherungs-Detektoren<br />
Hochspannungsquellen • Biegestäbe • Erkennungssysteme<br />
• Zündlemente • Membrane<br />
Die piezokeramischen Bauteile s<strong>in</strong>d elektromechanische bzw. elektroakustische<br />
Wandler. Mit solchen Wandlern ist die Umwandlung e<strong>in</strong>er<br />
Form von Energie <strong>in</strong> e<strong>in</strong>e an<strong>der</strong>e <strong>in</strong> Sensoren ebenso wie <strong>in</strong> Ultraschall-<br />
Gebern <strong>und</strong> Ultraschall –Empfänger möglich.<br />
Bei Nutzung des direkten piezoelektrischen Effektes s<strong>in</strong>d mechanischelektrische<br />
Wandler entsprechend den Anregungsbed<strong>in</strong>gungen Signal-<br />
Generatoren für quasistatische o<strong>der</strong> dynamische Sensoren, die <strong>der</strong><br />
Messung von Kräften bzw. Beschleunigungen dienen sowie elektroakustische<br />
Schall- o<strong>der</strong> Ultraschall- Empfänger (“Mikrofone“). Die Größe des<br />
direkten piezoelektrischen Effektes bestimmter Piezokeramiken ermöglicht<br />
zudem auch die Generierung hoher Spannungen für die Zündung<br />
von Gasen.<br />
Bei Nutzung des <strong>in</strong>versen piezoelektrischen Effekts werden die elektrisch-<br />
mechanischen Wandler als Schall- <strong>und</strong> <strong>in</strong>sbeson<strong>der</strong>e als Ultraschallgeber<br />
e<strong>in</strong>gesetzt. Gerade durch die Möglichkeit <strong>der</strong> effektiven Erzeugung<br />
<strong>und</strong> Umwandlung von Ultraschall haben Piezokeramiken sehr<br />
bald e<strong>in</strong>en vorrangigen Platz <strong>in</strong> <strong>der</strong> Ultraschalltechnik e<strong>in</strong>genommen. Die<br />
Ultraschalltechnik kann <strong>in</strong> zwei Segmente unterteilt werden: Hochleistungs-<br />
<strong>und</strong> Kle<strong>in</strong>signal- Ultraschall.<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
165
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Die Leistungsdichte von Hochleistungs- Ultraschall- Systemen kann im<br />
Bereich <strong>der</strong> niedrigen Ultraschall- Frequenzen von 20...60 KHz im Bereich<br />
von 1 W/cm 2 bis mehreren kW/cm 2 liegen. Ausgesprochene Hochleistungs-<br />
Ultraschall- Systeme <strong>in</strong> diesem Bereich s<strong>in</strong>d Ultraschall-<br />
Re<strong>in</strong>igungsgeräte <strong>und</strong> Geräte zur Ultraschall- Bearbeitung (Bohren,<br />
Schweißen). Die <strong>in</strong> <strong>der</strong> <strong>in</strong>dustriellen Praxis weit verbreiteten Ultraschall-<br />
Re<strong>in</strong>igungsgeräte kommen beispielsweise bei <strong>der</strong> Re<strong>in</strong>igung von Präzisionsteilen,<br />
Halbleitern <strong>und</strong> elektronischen Bauteilen <strong>in</strong> unterschiedlichen<br />
Fertigungsabschnitten ebenso zum E<strong>in</strong>satz wie bei <strong>der</strong> Re<strong>in</strong>igung<br />
von Uhren <strong>und</strong> optischen Gläsern. Mit Hochleistungs- Ultraschall können<br />
beson<strong>der</strong>s spröde <strong>und</strong> harte <strong>Werkstoffe</strong> (Quarz, Ferrite, Edelste<strong>in</strong>e, ultraharte<br />
Legierungen, Halbleiter- Kristalle) bearbeitet werden. E<strong>in</strong> Beispiel<br />
für Hochleistungs- Ultraschall- Systeme s<strong>in</strong>d auch Ultraschall- Vernebler<br />
von Flüssigkeiten (Wasser, Medikamente), die vornehmlich bei Frequenzen<br />
im Bereich von 1 ... 2 MHz betrieben werden <strong>und</strong> bis zu 20 Watt e<strong>in</strong>e<br />
Verneblungsrate von 0,3 ... 0,5 l/h erzeugen.<br />
Ultraschall- Sensoren können als direkte Ultraschall- Wandler passiv<br />
durch Nutzung des direkten piezoelektrischen Effektes (Mikrofone,<br />
Hydrofone; Klopfsensoren) o<strong>der</strong> aktiv <strong>in</strong> <strong>der</strong> Umgebung <strong>ihre</strong>r Eigenfrequenz<br />
betrieben werden. Davon zu unterscheiden s<strong>in</strong>d Sonar- Sensoren.<br />
Der Gebrauch des <strong>in</strong>versen <strong>und</strong> des direkten piezoelektrischen Effektes<br />
ist übliche Weg zu Erzeugung <strong>und</strong> zum Empfang von Ultraschall bei <strong>der</strong><br />
Signal- Übertragung <strong>in</strong> <strong>der</strong> Sonartechnik. Sonar- Systeme dienen <strong>der</strong> I-<br />
dentifikation von Objekt- Strukturen, <strong>der</strong> Messung von Distanzen o<strong>der</strong><br />
<strong>der</strong> Messung von Material- o<strong>der</strong> Objekt- Eigenschaften. In Sensor- Systemen<br />
wird <strong>der</strong> Ultraschall ausgestrahlt <strong>und</strong> nach Durchdr<strong>in</strong>gung des<br />
Mediums o<strong>der</strong> Reflexion empfangen. Die Sonartechnik umfaßt Systeme<br />
<strong>der</strong> Hydroakustik (Ortung, Navigation; Fisch- F<strong>in</strong><strong>der</strong>), <strong>der</strong> zerstörungsfreien<br />
Ultraschall- Materialprüfung, <strong>der</strong> mediz<strong>in</strong>ischen Diagnostik, aber<br />
auch Anordnungen zur Füllstands- <strong>und</strong> Abstandsmessung(z. B. PKW-<br />
E<strong>in</strong>parkhilfen) sowie Systeme <strong>der</strong> Mengen- <strong>und</strong> Durchflußmessung.<br />
Bei Sonar- Systemen <strong>der</strong> Hydroakustik im nie<strong>der</strong>frequenten Ultraschallbereich<br />
(20 ... 200 kHz) kann <strong>der</strong> Ultraschall- Pegel e<strong>in</strong>ige H<strong>und</strong>ert Watt<br />
erreichen. Der Term<strong>in</strong>us „Kle<strong>in</strong>signal“ bezieht sich gewöhnlich auf Sonarsysteme<br />
im hochfrequenten Bereich (0,5 ... 20 MHz). Typische<br />
Leistungs- Pegel für „Kle<strong>in</strong>signal- Ultraschall“ werden <strong>in</strong> Milliwatt gemessen.<br />
Der hochfrequente Ultraschall- Strahl niedriger Leistung durchdr<strong>in</strong>gt<br />
166<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
jeweils <strong>Werkstoffe</strong> <strong>und</strong> Grenzflächen (s. zerstörungsfreie Materialprüfung)<br />
o<strong>der</strong> im Fall von biologischem Material Gewebe unterschiedlicher<br />
Dichte (s. mediz<strong>in</strong>ische Diagnostik), wird teilweise reflektiert, <strong>und</strong> die resultierenden<br />
Echos (Impuls- Echo) werden durch e<strong>in</strong>en Wandler empfangen<br />
<strong>und</strong> als elektrisches Signal mit bildgebenden Verfahren ausgewertet.<br />
Dank <strong>der</strong> großen Vielfalt <strong>der</strong> aus piezoelektrischen Keramiken herzustellenden<br />
Bauteile kommen diese für elektromechanische Wandler <strong>in</strong> e<strong>in</strong>em<br />
weiten Frequenzbereich zum E<strong>in</strong>satz (Tabelle 2).<br />
Frequenz,<br />
Hz<br />
Anwendung Gas Liquid Solid<br />
10 7<br />
Dickenschw<strong>in</strong>ger<br />
+Anpaßschichten<br />
Dickenschw<strong>in</strong>ger,<br />
›<br />
Ultraschall<br />
Dicken-<br />
Scherschw<strong>in</strong>ger<br />
10 0 Hörbarer Schall<br />
Quasistat. Signal<br />
Biegeschw<strong>in</strong>ger<br />
Verb<strong>und</strong>schw<strong>in</strong>ger<br />
Biegeschw<strong>in</strong>ger<br />
Längsschw<strong>in</strong>ger<br />
Biegeschw<strong>in</strong>ger<br />
Dickenschw<strong>in</strong>ger<br />
Tabelle 2: Elektromechanische Wandler für verschiedene akustische<br />
Medien<br />
Spezifikation von piezoelektrischen Keramiken für die praktische<br />
Anwendung<br />
Für die unterschiedlichen <strong>Anwendungen</strong> erfüllen piezoelektrische Keramiken<br />
als Modifikationen des Bleizirkonat- Titanat unterschiedlicher<br />
Spezifikation unterschiedliche Anfor<strong>der</strong>ungen. Für solche <strong>Anwendungen</strong>,<br />
wie Ultraschallgeneratoren hoher Leistung für die Ultraschallre<strong>in</strong>igung<br />
<strong>und</strong> die Sonartechnik, kommen "harte" piezoelektrische Keramiken<br />
(mo<strong>der</strong>ate Dielektrizitätszahl, große piezoelektrische Aktivität hohe e-<br />
lektrische <strong>und</strong> mechanische Güte <strong>und</strong> ger<strong>in</strong>ge dielektrische Verluste,<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
167
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
hohe Stabilität bei hohen Betriebsfeldstärken <strong>und</strong> hohen mechanischen<br />
Belastungen) zum E<strong>in</strong>satz.<br />
E<strong>in</strong>satzgebiete <strong>der</strong> "weichen" piezoelektrischen Keramiken (Tabelle 3)<br />
s<strong>in</strong>d die Elektroakustik (Schallgeber <strong>und</strong> Schallempfänger) <strong>und</strong> die Meßtechnik<br />
(Sensoren).<br />
Werkstoff Sonox P 5 Sonox P 502 Sonox P 53<br />
Dielektrizitätszahl ε 3 3 T /ε 0 1850 1850 3800<br />
Verlustfaktor tan δ 10 -3 20 12.5 16<br />
Curietemperatur ϑ C o<br />
C 305 335 215<br />
Kopplungsfaktor k p .62 .62 .65<br />
Ladungskonstanten d 33, 450 440 680<br />
Spannungskonstanten g 33 10 -3 Vm/N 27.5 25.5 19.0<br />
Dichte γ 10 3 kg /m 7.65 7.74 7.83<br />
Gütefaktor Q m 80 80 75<br />
Temperaturkoeffizienten α ε , 65 25 24<br />
α f -3.5 2.9 4.7<br />
α k -1.8 -5.2 -1.0<br />
Tabelle 3: Eigenschaften von SONOX ® Piezokeramiken für Sensoren<br />
Die verwendeten Vortragsfolien (Nr. 1 bis 12) f<strong>in</strong>den sich auf den<br />
folgenden Seiten.<br />
168<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 1<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
169
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 2<br />
170<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 3<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
171
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 4<br />
172<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 5<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
173
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 6<br />
174<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 7<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
175
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 8<br />
176<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 9<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
177
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 10<br />
178<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 11<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik<br />
179
<strong>Piezokeramische</strong> <strong>Werkstoffe</strong><br />
Folie 12<br />
180<br />
Informationszentrum<br />
Technische Keramik
Change language