Chemische Sensoren
Chemische Sensoren
Chemische Sensoren
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Schwingquarze sind dünn geschliffene Quarzplättchen, auf deren gegenüberliegende<br />
Flächen zwei Elektroden aufgebracht werden. Wird an diese Elektroden eine Spannung<br />
angelegt, so kommt es auf Grund der Elektrostriktion - der reziproke Effekt zum<br />
piezoelektrischen Effekt - zu einer mechanischen Deformation des Quarzes. Legt man eine<br />
Wechselspannung an, können sich stehende Wellen ausbilden. Die Resonanzfrequenz ist<br />
dabei der Dicke des Plättchens umgekehrt proportional. Ein 10 MHz Schwingquarz ist<br />
bereits nur mehr 0,168 mm dick (n=0). In Abhängigkeit vom vewendeten Schnittwinkel des<br />
Quarzes treten verschieden Typen von Schwingungen auf: Die Frequenz nimmt in der<br />
Reihenfolge Biege-, Dehnungs-, Flächenscher- und Dickenscherschwingung zu. Auf Grund<br />
mechanischer Probleme bei immer dünner werdenden Plättchen ist die erreichbare<br />
Frequenz bei Verwendung von Obertönen (n>0) auf ca. 70 MHz begrenzt.Will man höhere<br />
Frequenzen verwenden, muss man zu Oberflächenwellenbauteilen übergehen.<br />
Die Massenbeladung eines Schwingquarzes kann formal als Zunahme der Dicke des<br />
Plättchens aufgefasst werden. Eine einfache Rechnung zeigt, daß die Frequenzabnahme<br />
proportional der Massenzunahme und proportional dem Quadrat der Grundfrequenz ist.<br />
Dies eröffnet einen Weg zur Erhöhung der Sensitivität über die Erhöhung der<br />
Grundfrequenz. Die Frequenzabnahme kann gemessen werden, indem der Schwingquarz in<br />
eine Oszillatorschaltung als frequenzbestimmendes Bauteil eingebaut wird. Für einen 10<br />
MHz Schwingquarz mit einer Elektrodenfläche von 1 cm2 ergibt sich eine Abnahme der