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Chemische Sensoren

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Prinzip der OFW-Chemosensorik:<br />

Verschiedene Detektionsmechanismen, z.B.<br />

Massenbelastung : Δf = -Kf 0<br />

2<br />

Δm<br />

Typische Werte für ein 1-GHz-Bauteil<br />

mit einer aktiven Fläche von 1 mm 2 .<br />

Ein Meßaufbau, der Frequenzänderungen<br />

von 1 ppm auflöst, weist<br />

Massenanlagerung von 0.1 pg nach.<br />

0,1pg/mm 2 = 0,1µg/m 2 ; bei Dichte 1000kg/m 3 : 10 -13 m 3 /m 2 (1/1000<br />

Atomdurchmesser!)

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