Fortschrittliche Bewegungssysteme für Verteidigung ... - Aerotech Inc.

ANT95-L-Z und ANT130-L-Z
• Nanometer-Performance bei
großem Verfahrwegformat
• Hohe mechanische Auflösung
(2 nm), Wiederholbarkeit (75 nm)
und Genauigkeit (300 nm)
• Positionsstabilität von 5 nm
• Kreuzrollenlager mit Kriechschutz
• Hohe dynamische Performance
Position (nm)
22
20
18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
2
0 5 10 15 20 25 30
Time (s)
ANT130-5-V 2-nm-Schritt-Plot
ANT95-50-L-Z-PLUS 1-nm-Schritt-Plot
ANT130-5-V
• Nanometer-Performance bei
großem Verfahrwegformat
• Positionsstabilität von 1 nm
• 5 mm Verfahrweg
• Genauigkeit von 200 nm
• Direktmontage an Lineartischen der
ANT130-Serie
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