Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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4.2 Charakterisierung <strong>ultradünner</strong> Ceroxid-Filme<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
0.9<br />
0.7<br />
5<br />
0.9<br />
0.7<br />
0.5<br />
0.3<br />
5<br />
0.9<br />
0.7<br />
0.5<br />
0.3<br />
5<br />
O1s<br />
Fit<br />
Backgr.<br />
SiOx<br />
Si−O−Ce<br />
CeOx<br />
O1s<br />
(1)<br />
Fit<br />
0.9 Backgr.<br />
(1-Cl)<br />
SiOx<br />
Si−O−Ce<br />
0.7<br />
CeOx<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
4 3 2 1 0 −1 −2 5 4 3 2 1 0 −1 −2<br />
O1sRelative Binding Energy (eV)<br />
O1sRelative Binding Energy (eV)<br />
Fit<br />
Fit<br />
(5) 0.9<br />
(5-Cl)<br />
Backgr.<br />
Backgr.<br />
SiOx<br />
SiOx<br />
Si−O−Ce<br />
Si−O−Ce<br />
0.7<br />
CeOx<br />
CeOx<br />
4 3 2 1 0 −1 −2<br />
O1sRelative Binding Energy (eV)<br />
Fit<br />
(5-Ga)<br />
Backgr.<br />
SiOx<br />
Si−O−Ce<br />
CeOx<br />
4 3 2 1 0 −1<br />
Relative Binding Energy (eV)<br />
−2<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
0.5<br />
0.5<br />
0.3<br />
0.9<br />
0.7<br />
0.5<br />
0.3<br />
0.1<br />
5<br />
5<br />
4 3 2 1 0 −1 −2<br />
O1sRelative Binding Energy (eV)<br />
Fit<br />
(5-Ag)<br />
Backgr.<br />
SiOx<br />
Si−O−Ce<br />
CeOx<br />
4 3 2 1 0 −1<br />
Relative Binding Energy (eV)<br />
−2<br />
Abb. 4.17 O1s-XPS-Spektren von ultradünnen Ce 2 O 3 -Filmen mit einer Schichtdicke<br />
von 2 Å (1)–(1-Cl) und 6 Å (5)–(5-Ag) gewachsen bei 500 ℃<br />
Substrattemperatur und einem Sauerstoffhintergrunddruck von p O2 =<br />
1 × 10 −7 mbar (1)–(1-Cl) und p O2 = 5 × 10 −7 mbar (5)–(5-Ag) auf<br />
nicht passiviertem, Chlor-passiviertem, Gallium-passiviertem und Silberpassiviertem<br />
Si(111) (Präparationsbedingungen (1), (1-Cl), (5), (5-Cl),<br />
(5-Ga), (5-Ag)). Die verwendete Photonenenergie betrug für (5)–(5-<br />
Ga) 3,35 keV und für (1), (1-Cl) und (5-Ag) 2,6 keV. Sämtliche Spektren<br />
bis auf (1-Cl) (E pass = 50 eV) wurden bei einer Passenergie von<br />
30 eV aufgenommen. Die Spektren (1) und (1-Cl) entstammen der Diplomarbeit<br />
[62].<br />
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