Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

Inhaltsverzeichnis
Seite
1 Einleitung 1
2 Grundlagen und Messmethoden 5
2.1 Kristallstrukturen von Seltenerdoxiden . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1.1 Fluorit-Kristallstruktur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1.2 Bixbyit-Kristallstruktur (C-Typ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1.3 Hexagonale Kristallstruktur (A-Typ) . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.2 Röntgen-Photoelektronenspektroskopie . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2.1 Anfangs- und Endzustands-Effekte von Seltenerdoxiden . . . . . 12
2.3 Kinematische Näherung der Röntgenbeugung . . . . . . . . . . . . 14
2.3.1 Röntgenbeugung an Oberflächen und an dünnen epitaktischen
Filmen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.4 Dynamische Röntgenbeugung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
2.5 Stehende Röntgenwellenfelder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.5.1 Modellierung von kohärenter Fraktion und kohärenter Position . 29
2.5.2 Robustheit der XSW-Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
2.5.2.1 Gang der Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
2.5.2.2 Abschätzung der Unsicherheit von kohärenter Fraktion
und kohärenter Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
2.6 Niederenergetische Elektronenmikroskopie . . . . . . . . . . . . . . 38
3 Experimenteller Aufbau und Probenpräparation 45
3.1 Strahlführung BW1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.1.1 Ultrahochvakuum-Kammer und Detektoren . . . . . . . . . . . . 46
3.1.2 Probenpräparation am BW1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
3.2 Strahlführung BW2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
3.3 Strahlführung U5UA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
3.3.1 Niederenergetisches Elektronenmikroskop an U5UA . . . . . . . . 52
3.3.2 Probenpräparation an U5UA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
4 Strukturelle und chemische Zusammensetzung von
Seltenerdoxid-Filmen auf Si(111) 55
4.1 Stand der Wissenschaft . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
4.1.1 Si(111)-(7 × 7) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
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