Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

4 Strukturelle und chemische Zusammensetzung von Seltenerdoxid-Filmen
auf Si(111)
Ce Fluorescence Yield
Ce Fluorescence Yield
Normalized Intensity (arb. units)
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
Reflectivity
(1−Cl)
(1)
f c
= 0.40
Φ c
= 1.00
(a)
Normalized Intensity (arb. units)
2.5
2.0
1.5
f
1.0
c
= 0.49
Φ c
= 1.00
0.5
Reflectivity
(5−Cl)
(5)
f c
= 0.70
Φ c
= 1.10
(b)
f c
= 0.53
Φ c
= 1.11
0
−1 0 1
E−E (eV) Bragg
0
−1 0 1
E−E (eV) Bragg
Abb. 4.12 XSW-Daten (offene Symbole) und theoretische Anpassung nach der dynamischen
Theorie der Röntgenbeugung (durchgezogene Linien) unter
Verwendung der CeL α -Fluoreszenz in (111)-Bragg-Reflexion bei einer
Photonenenergie von 5,9 keV nach dem Wachstum von (4.9 ± 0.5) O-Ce-
O Trilagen Ceroxid auf Chlor-passiviertem Cl/Si(111)-(1 × 1) und nicht
passiviertem Si(111)-(7×7) bei einer Substrattemperatur von 500 ℃ und
einem Sauerstoffhintergrunddruck von (a) p O2 = 1 × 10 −7 mbar ((1-Cl),
(1)) und (b) p O2 = 5 × 10 −7 mbar ((5-Cl), (5))
Um den Einfluss der Präparationsbedingungen auf die Kristallinität der ultradünnen
Ce 2 O 3 -Filme zu untersuchen, wurden entsprechende Ceroxid-Filme ((1), (1-Cl),
(5), (5-Cl) und (10-Cl)) mit Hilfe von stehenden Röntgenwellenfeldern (XSW)
untersucht. Dabei wurde die CeL α -Fluoreszenz als inelastisches Sekundärsignal verwendet.
Abb. 4.12 und Abb.4.13 zeigen die zugehörigen Verläufe der inelastischen
Sekundärsignale und der Reflektivitäten in (111)-Bragg-Reflexion zusammen mit
den theoretischen Anpassungen nach der dynamischen Theorie der Röntgenbeugung
bei 5,9 keV Photonenenergie. Wie man Abb. 4.12 (a) entnehmen kann, ergeben sich
für die kohärenten Fraktionen bei Präparationsbedingungen (1) und (1-Cl) Werte
von f CeLα
c,(111)
Φ CeLα
c,(111)
CeLα
(1) = 0,49 und fc,(111) (1-Cl) = 0,40 bei gleicher kohärenter Position von
= 1,00. Da die XSW-Proben eine identische Schichtdicke von (4,9 ± 0.5)
O-Ce-O Trilagen Ceroxid aufweisen, lässt sich anhand der kohärenten Fraktionen
direkt auf die Kristallinität der Filme schließen (siehe auch Abschnitt 2.5.1). Demnach
ist bei Präparationsbedingungen (1) und (1-Cl) die Kristallinität für die nicht
passivierte Probe (1) leicht höher als für die Chlor-passivierte Probe (1-Cl).
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