Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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4 Strukturelle und chemische<br />
Zusammensetzung von<br />
<strong>Seltenerdoxid</strong>-Filmen auf Si(111)<br />
In diesem Kapitel sollen die Ergebnisse zum <strong>Adsorbat</strong>-modifizierten <strong>Wachstum</strong> von<br />
ultradünnen <strong>Seltenerdoxid</strong>-Filmen mit Schichtdicken von wenigen Nanometern vorgestellt<br />
werden. Die Ergebnisse knüpfen an die ersten XSW-Untersuchungen zum anfänglichen<br />
epitaktischen <strong>Wachstum</strong> von Ceroxid auf Chlor-passiviertem Si(111) aus<br />
meiner Diplomarbeit [62] an und vertiefen diese, indem das <strong>Adsorbat</strong>-modifizierte<br />
<strong>Wachstum</strong> anhand weiterer <strong>Adsorbat</strong>e (Silber und Gallium) und Seltener Erden<br />
(Lanthan) vergleichend charakterisiert wird. Zu diesem Zweck wurden die Untersuchungen<br />
mit den Synchrotronstrahlungsmessmethoden XSW und XPS um die komplementäre<br />
Messmethode der Röntgenbeugung ((GI)XRD) erweitert. Zunächst wird<br />
in Abschnitt 4.1 über den aktuellen Stand der Wissenschaft berichtet, um anschließend<br />
im Kontext der aktuellen Forschung die in der Dissertation erzielten Ergebnisse<br />
vorzustellen und zu diskutieren. Hierzu werden im Abschnitt 4.2.1 die Ergebnisse<br />
zum anfänglichen <strong>Wachstum</strong> <strong>ultradünner</strong> Ceroxid-Filme, welche in der Diplomarbeit<br />
erzielt wurden, vorgestellt um daraufhin im weiteren Verlauf von Abschnitt 4.2 und<br />
in den Abschnitten 4.3 und 4.4 die vertieften Erkenntnisse und die darüber hinausgehenden<br />
Untersuchungen darstellen zu können, die mit Hilfe von XSW und XPS<br />
zum anfänglichen epitaktischen <strong>Wachstum</strong> der <strong>Seltenerdoxid</strong>e gewonnen wurden. In<br />
Abschnitt 4.5 wird schließlich über die Ergebnisse zum fortgeschrittenen epitaktischen<br />
<strong>Wachstum</strong> der <strong>Seltenerdoxid</strong>e auf Si(111), die mit Hilfe der Röntgenbeugung<br />
gewonnen wurden, berichtet.<br />
4.1 Stand der Wissenschaft<br />
Bevor die Ergebnisse zum <strong>Adsorbat</strong>-modifizierten <strong>Seltenerdoxid</strong>-<strong>Wachstum</strong> auf Silizium<br />
vorgestellt werden, sollen in den folgenden Abschnitten zunächst die Si(111)-<br />
(7×7)-Rekonstruktion, die zur Passivierung der Si(111)-Oberfläche verwendeten <strong>Adsorbat</strong>e<br />
Chlor, Silber und Gallium und der aktuelle Forschungsstand zum <strong>Wachstum</strong><br />
von Ceroxid und Lanthanoxid auf Si(111) vorgestellt werden. Einen sehr guten Überblick<br />
zum Wissensstand und zur Forschung an <strong>Seltenerdoxid</strong>en liefern [37, 127, 128]<br />
und darin enthaltene Referenzen.<br />
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