- Seite 1 und 2:
Adsorbat-modifiziertes Wachstum ult
- Seite 3:
Adsorbat-modifiziertes Wachstum ult
- Seite 7: Abstract Rare-earth oxides (REOx) a
- Seite 10 und 11: Inhaltsverzeichnis 4.1.2 Adsorbate
- Seite 13 und 14: 1 Einleitung Seltenerdoxide werden
- Seite 15 und 16: nität für die MOSFET-Anwendung er
- Seite 17 und 18: 2 Grundlagen und Messmethoden In di
- Seite 19 und 20: 2.1 Kristallstrukturen von Seltener
- Seite 21 und 22: 2.2 Röntgen-Photoelektronenspektro
- Seite 23: 2.2 Röntgen-Photoelektronenspektro
- Seite 26 und 27: 2 Grundlagen und Messmethoden Der E
- Seite 28 und 29: 2 Grundlagen und Messmethoden erhä
- Seite 30 und 31: 2 Grundlagen und Messmethoden K K
- Seite 32 und 33: 2 Grundlagen und Messmethoden 2.4 D
- Seite 34 und 35: 2 Grundlagen und Messmethoden dar u
- Seite 36 und 37: 2 Grundlagen und Messmethoden zur O
- Seite 38 und 39: 2 Grundlagen und Messmethoden ν=
- Seite 40 und 41: 2 Grundlagen und Messmethoden Aus G
- Seite 42 und 43: 2 Grundlagen und Messmethoden auf d
- Seite 44 und 45: 2 Grundlagen und Messmethoden Gitte
- Seite 46 und 47: 2 Grundlagen und Messmethoden ein l
- Seite 48 und 49: 2 Grundlagen und Messmethoden Norma
- Seite 50 und 51: 2 Grundlagen und Messmethoden Ergeb
- Seite 52 und 53: 2 Grundlagen und Messmethoden beam
- Seite 54 und 55: 2 Grundlagen und Messmethoden leuch
- Seite 58 und 59: 3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 60 und 61: 3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 62 und 63: 3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 64 und 65: 3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 67 und 68: 4 Strukturelle und chemische Zusamm
- Seite 69 und 70: 4.1 Stand der Wissenschaft Abb. 4.2
- Seite 71 und 72: 4.1 Stand der Wissenschaft 1/3 ML G
- Seite 73 und 74: 4.1 Stand der Wissenschaft Zarraga-
- Seite 75 und 76: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 77 und 78: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 79 und 80: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 81 und 82: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 83 und 84: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 85 und 86: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 87 und 88: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 89 und 90: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 91 und 92: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 93 und 94: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 95 und 96: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 97 und 98: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 99 und 100: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 101 und 102: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 103 und 104: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 105 und 106: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 107 und 108:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 109 und 110:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 111 und 112:
4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 113 und 114:
4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 115 und 116:
4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 117 und 118:
4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 119 und 120:
4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 121 und 122:
4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 123 und 124:
4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 125 und 126:
4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 127 und 128:
4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 129 und 130:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 131 und 132:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 133 und 134:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 135 und 136:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 137 und 138:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 139 und 140:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 141 und 142:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 143 und 144:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 145 und 146:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 147 und 148:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 149 und 150:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 151 und 152:
4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 153 und 154:
4.6 Zusammenfassung und Ausblick 4.
- Seite 155 und 156:
4.6 Zusammenfassung und Ausblick Fi
- Seite 157 und 158:
5 Wachstum, Morphologie und Oxidati
- Seite 159 und 160:
5.1 Stand der Wissenschaft rigen Be
- Seite 161 und 162:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 163 und 164:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 165 und 166:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 167 und 168:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 169 und 170:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 171 und 172:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 173 und 174:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 175 und 176:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 177 und 178:
5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 179 und 180:
5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 181 und 182:
5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 183 und 184:
5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 185 und 186:
5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 187 und 188:
5.4 Zusammenfassung und Ausblick 5.
- Seite 189 und 190:
5.4 Zusammenfassung und Ausblick ni
- Seite 191 und 192:
Abkürzungsverzeichnis AFM ALD Atom
- Seite 193 und 194:
Literaturverzeichnis [1] Kaemena, B
- Seite 195 und 196:
Literaturverzeichnis [20] Hubbard,
- Seite 197 und 198:
Literaturverzeichnis [44] Campbell,
- Seite 199 und 200:
Literaturverzeichnis [69] Schattke,
- Seite 201 und 202:
Literaturverzeichnis [95] Zegenhage
- Seite 203 und 204:
Literaturverzeichnis [120] Fendt, R
- Seite 205 und 206:
Literaturverzeichnis [145] Furusawa
- Seite 207 und 208:
Literaturverzeichnis [166] Copel, M
- Seite 209 und 210:
Literaturverzeichnis [189] Chambers
- Seite 211:
Literaturverzeichnis [212] Kotani,
- Seite 214 und 215:
Wissenschaftliche Beiträge Beiträ
- Seite 216:
Danksagung Bei meinen Freunden und