Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

2.6 Niederenergetische Elektronenmikroskopie
synchrotron
radiation
Abb. 2.21 Schematischer Aufbau eines SPELEEM-Instruments (nach S. Heun nach
[106])
kompensiert. Das magnetische Sektorfeld lenkt die Elektronen dabei auf einer gekrümmten
Bahn um 60 ° ab, sodass der einfallende vom ausfallenden Strahl separiert
werden kann. Zwischen Objektivlinse und Probe, die lediglich wenige Millimeter voneinander
entfernt sind, werden die Elektronen von 20 keV durch ein entsprechendes
Gegenfeld auf eine kinetische Energie im Bereich von 0–500 eV abgebremst. Nach der
Wechselwirkung mit der Probenoberfläche und der resultierenden Reflexion werden
die Elektronen wieder auf 20 keV beschleunigt und mit Hilfe der Objektivlinse und
des Sektorfeldes in die Abbildungssäule abgelenkt. Durch den weiteren Strahlengang,
der im Folgenden noch näher beschrieben wird, werden die Elektronen auf zwei bilderhaltende
Mikrokanalplatten (microchannel plate) abgebildet, die die Elektronen
vervielfachen. Die entstehende Elektronenkaskade wird auf einen Fluoreszenzschirm
beschleunigt, wodurch ein Signal ausreichender Intensität entsteht, welches mit einer
CCD-Kamera computergestützt aufgenommen werden kann. Die Probenoberfläche
kann anstatt mit Elektronen auch mit Synchrotronstrahlung beleuchtet werden, die
senkrecht zur Probenoberfläche auf die Probe trifft und dem äußeren Photoeffekt
entsprechend Photoelektronen aus der Probe herauslöst, die dann zur chemisch sensitiven
Abbildung der Oberfläche oder zur Photoelektronenspektroskopie verwendet
werden können.
Um den Strahlengang der Elektronen in der Abbildungssäule genauer zu beschreiben,
zeigt Abb. 2.22 eine entsprechende schematische Darstellung der Optik im
39