Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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2.6 Niederenergetische Elektronenmikroskopie<br />
synchrotron<br />
radiation<br />
Abb. 2.21 Schematischer Aufbau eines SPELEEM-Instruments (nach S. Heun nach<br />
[106])<br />
kompensiert. Das magnetische Sektorfeld lenkt die Elektronen dabei auf einer gekrümmten<br />
Bahn um 60 ° ab, sodass der einfallende vom ausfallenden Strahl separiert<br />
werden kann. Zwischen Objektivlinse und Probe, die lediglich wenige Millimeter voneinander<br />
entfernt sind, werden die Elektronen von 20 keV durch ein entsprechendes<br />
Gegenfeld auf eine kinetische Energie im Bereich von 0–500 eV abgebremst. Nach der<br />
Wechselwirkung mit der Probenoberfläche und der resultierenden Reflexion werden<br />
die Elektronen wieder auf 20 keV beschleunigt und mit Hilfe der Objektivlinse und<br />
des Sektorfeldes in die Abbildungssäule abgelenkt. Durch den weiteren Strahlengang,<br />
der im Folgenden noch näher beschrieben wird, werden die Elektronen auf zwei bilderhaltende<br />
Mikrokanalplatten (microchannel plate) abgebildet, die die Elektronen<br />
vervielfachen. Die entstehende Elektronenkaskade wird auf einen Fluoreszenzschirm<br />
beschleunigt, wodurch ein Signal ausreichender Intensität entsteht, welches mit einer<br />
CCD-Kamera computergestützt aufgenommen werden kann. Die Probenoberfläche<br />
kann anstatt mit Elektronen auch mit Synchrotronstrahlung beleuchtet werden, die<br />
senkrecht zur Probenoberfläche auf die Probe trifft und dem äußeren Photoeffekt<br />
entsprechend Photoelektronen aus der Probe herauslöst, die dann zur chemisch sensitiven<br />
Abbildung der Oberfläche oder zur Photoelektronenspektroskopie verwendet<br />
werden können.<br />
Um den Strahlengang der Elektronen in der Abbildungssäule genauer zu beschreiben,<br />
zeigt Abb. 2.22 eine entsprechende schematische Darstellung der Optik im<br />
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