Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

2.5 Stehende Röntgenwellenfelder
jedoch ausgeschlossen werden, da die hier analysierten Ce3d-Spektren sich nicht von
dem Ce3d-Spektrum eines Ce 2 O 3 -Films gewachsen auf La 2 O 3 unterscheiden (vgl.
Abschnitte 4.2.2 und 4.4). Dies wurde durch die Anpassung mit Hilfe von Voigt-
Profilen sichergestellt.
Um schließlich eine Abschätzung für die Unsicherheiten von f c und Φ c zu erhalten,
wurden 4 unterschiedliche Strategien für die Anpassung des Ce3d 5/2 -Spektrums
verfolgt. Die erste Strategie ist die vom Programm swan bereitgestellte Anpassung.
Dabei wird zunächst das Summenspektrum, welches sich aus der Summation
der 24 bzw. 32 Einzel-Photoelektronenspektren einer XSW-Messung ergibt,
durch einen linearen Untergrundabzug und zwei Gauß-Funktionen angepasst, welche
die v’- und die v 0 -Spezies repräsentieren. Anschließend werden jeweils die Einzelspektren
angepasst und dabei lediglich die Intensitäten der Gauß-Funktionen variiert,
während sämtliche anderen Parameter festgehalten werden. Die integralen
Intensitäten der Gauß-Funktionen ergeben bei dieser Anpassungsstrategie dann den
Verlauf des entsprechenden inelastischen Sekundärsignals. Bei den übrigen Anpassungsstrategien
wurden die jeweiligen Spektren mit Hilfe von Voigt-Profilen und
Shirley- bzw. Tougaard-Sekundärelektronenhintergründen angepasst. Dazu wurden
die Einzel-Photoelektronenspektren aus den XSW-Datensätzen extrahiert und manuell
mit Hilfe des Programmes fitt, welches die benötigten Voigt-Profile und Untergrundabzüge
bereitstellt, angepasst. Zunächst wurde allerdings wieder das Summenspektrum
zur Findung der besten Anpassungsparameter herangezogen. Bei der Strategie
2 wurde dann analog zur Strategie 1 unter Verwendung von Shirley-Untergrund
und Voigt-Profilen vorgegangen. Schließlich wurde bei Anwendung von Strategie
3 der Sekundärelektronenhintergrund nach Tougaard abgezogen, wobei der Untergrund
für die Einzelspektren nicht festgehalten wurde, sondern zusätzlich als Anpassungsparameter
diente. Einen weiteren freien Parameter in der Anpassung verwendete
Strategie 4, die die energetische Position der v’- und der v 0 -Spezies variabel
ließ, den relativen energetischen Abstand jedoch festhielt. Einen Überblick über die
zur Anpassung der XSW-Photoelektronenspektren verwendeten Strategien liefert
Tab. 2.1.
Abb. 2.20 zeigt die durch die 4 verschiedenen Anpassungsstrategien erzielten Ergebnisse
für die kohärenten Fraktionen f c und die kohärenten Positionen Φ c für die Spezies
v’, v 0 und deren Summe v’+v 0 für zwei unterschiedlich gewachsene Ce 2 O 3 -Filme
auf Si(111). Zunächst fällt auf, dass sich die Werte für die kohärenten Fraktionen f c
und die kohärenten Positionen Φ c in Abhängigkeit der untersuchten Spezies v’, v 0
und v’ + v 0 und der angewendeten Anpassungsstrategie voneinander unterscheiden.
Dabei variiert Φ c sehr viel geringer als f c . Die kohärente Position hängt also sehr
viel weniger von der gewählten Anpassungsstrategie ab als die kohärente Fraktion.
Weiterhin ist festzustellen, dass Anpassungsstrategie 4 zu der geringsten Streuung
von f c und Φ c führt.
Eine detaillierte Analyse der Messdaten zeigte, dass das verwendete Photoelektronenspektrometer
CLAM 100 an der Strahlführung BW1 nicht synchron mit der Pho-
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