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Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

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2 Grundlagen und Messmethoden<br />

ein linearer Untergrundabzug und Gauß-Funktionen zur Anpassung der Spektren<br />

verwendet. Dabei werden die relativen energetischen Abstände der Gauß-Funktionen<br />

entsprechend einer vorangegangenen Voigt-Profil-XPS-Analyse des Summenspektrums,<br />

welches aus der Summe sämtlicher Einzelspektren besteht, festgehalten und<br />

die Halbwertsbreiten dieser Voigt-Profile als Startwert für die Gauß-Anpassung herangezogen,<br />

um den systematischen Fehler möglichst gering zu halten. Der Verlauf<br />

der integralen Intensität jeder einzelnen Gauß-Funktion beim Durchstimmen der<br />

Reflektivität entspricht somit dem zugehörigen inelastischen Sekundärsignal der jeweiligen<br />

Spezies. Je mehr Gaußkurven zur Anpassung eines Spektrums nötig sind,<br />

desto größer ist die zu erwartende Unsicherheit im Verlauf des inelastischen Sekundärsignals.<br />

Dementsprechend weisen die kohärenten Fraktionen f c und die kohärenten<br />

Positionen Φ c ebenfalls größere Unsicherheiten auf, denn die kohärenten<br />

Fraktionen und die kohärenten Positionen werden mit Hilfe des Programmes lsnoxc<br />

(Autor: Th. Schmidt (Universität Bremen)) anhand der Anpassung der inelastischen<br />

Sekundärsignale durch die theoretischen Verläufe der Reflektivitätskurven nach der<br />

dynamischen Theorie der Röntgenbeugung bestimmt, welche an die experimentell<br />

bestimmten Reflektivitäten angepasst wurden. Durch Fehlerfortpflanzung weisen die<br />

kohärenten Fraktionen und die kohärenten Positionen bei größeren Unsicherheiten<br />

im Sekundärsignalverlauf ebenfalls größere Fehler auf.<br />

2.5.2.2 Abschätzung der Unsicherheit von kohärenter Fraktion und<br />

kohärenter Position<br />

Die Abschätzung der Unsicherheit der kohärenten Fraktion f c und der kohärenten<br />

Position Φ c wird anhand des Ce3d 5/2 -Spektrums vorgenommen, da das 3d-Spektrum<br />

von Ceroxid eine komplexe intrinsische Struktur besitzt, welche durch Anfangsund<br />

Endzustandseffekte hervorgerufen wird (vgl. Abschnitt 2.2.1) und generell sehr<br />

schwer anzupassen ist. Der Theorie zufolge sind jedoch die Amplitude (f c ) und die<br />

Phase (Φ c ) des (hkl)-ten Fourierkoeffizienten der atomaren Verteilungsfunktion des<br />

entsprechenden Elementes unabhängig vom verwendeten inelastischen Sekundärsignal,<br />

wenn Nicht-Dipol-Effekte bei Photoelektronen-XSW-Messungen vernachlässigt<br />

werden. Demnach sollten sich identische Werte für die kohärente Fraktion f c und<br />

die kohärente Position Φ c ergeben, wenn man zu deren Bestimmung die Sekundärsignalverläufe<br />

der v’- bzw. der v 0 -Spezies des Ce3d 5/2 -Photoelektronenspektrums oder<br />

deren Summe v’ + v 0 (siehe Abb. 2.20) heranzieht. Dies gilt allerdings nur, solange<br />

das Ce3d 5/2 -Spektrum keine weiteren Spezies enthält, welche zu anderen atomaren<br />

Verteilungsfunktionen gehören. Dies wäre z. B. der Fall, wenn sich in dem Ce3d 5/2 -<br />

Spektrum eines Ce 2 O 3 -Films noch Anteile einer Silikat-Spezies befinden, die formal<br />

den gleichen Oxidationszustand aufweist (vgl. Abschnitt 4.1). Da das Silikat eine<br />

andere atomare Verteilung der Ce-Atome aufweist als der kristalline Ce 2 O 3 -Film,<br />

würde die Silikat-Spezies, je nach energetischer Lage, die kohärente Fraktion und<br />

die kohärente Position der v’- bzw. der v 0 -Spezies beeinflussen, da dann über die<br />

Verteilung der Ce-Atome im Silikat und im Ce 2 O 3 -Film gemittelt würde. Dies kann<br />

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