Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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2.5 Stehende Röntgenwellenfelder<br />
Insgesamt kann festgehalten werden, dass es aus dem Vergleich zwischen experimentellen<br />
XSW-Ergebnissen und berechneten idealen kohärenten Fraktionen unter<br />
Berücksichtigung des Debye-Waller-Faktors möglich ist, bei bekannter Kristallstruktur,<br />
Schichtdicke und vertikalem Verspannungszustand des Films auf die kristalline<br />
Qualität des epitaktischen Films zu schließen, indem anhand von Gleichung (2.41)<br />
die im Film enthaltene Unordnung bestimmt wird. Weiterhin ist es möglich, anhand<br />
von Φ 0 den Grenzflächenabstand zwischen Film und Substrat Modulo d 111<br />
zu erhalten. In der vorliegenden Arbeit wurde die Schichtdicke anhand der <strong>Wachstum</strong>srate<br />
der <strong>Seltenerdoxid</strong>e ermittelt, die durch Röntgenreflektometrie-Messungen<br />
(XRR) an Filmen mit Schichtdicken von einigen Nanometern kalibriert wurde. Die<br />
vertikale Gitterfehlanpassung wurde mit Hilfe der Elastizitätstheorie [103] und elastischen<br />
Konstanten, deren Werte der Literatur entnommen wurden [104], anhand<br />
des lateralen Verspannungszustands der <strong>Seltenerdoxid</strong>-Filme berechnet, der durch<br />
Röntgenbeugungs-Untersuchungen unter streifendem Einfall (GIXRD) an Filmen<br />
mit Schichtdicken von einigen Nanometern ermittelt wurde.<br />
2.5.2 Robustheit der XSW-Auswertung<br />
In diesem Abschnitt soll die Robustheit der XSW-Auswertung von experimentellen<br />
Daten und damit der Fehler der kohärenten Fraktionen f c und der kohärenten Positionen<br />
Φ c abgeschätzt werden. Dies wird anhand von 3d-<strong>Seltenerdoxid</strong>-Photoelektronenspektren<br />
durchgeführt, da diese Spektren eine komplexe intrinsische Peakstruktur<br />
aufweisen und generell schwer anzupassen sind (siehe auch Abschnitt 2.2.1). Die<br />
so bestimmten Unsicherheiten für f c und Φ c stellen den zu erwartenden Größtfehler<br />
für die Amplitude und Phase des (hkl)-ten Fourierkoeffizienten der in die primitive<br />
Einheitszelle des Substrats projizierten atomaren Verteilungsfunktion dar und<br />
decken sogleich den Fehler, welcher bei identischen Probenpräparationen begangen<br />
wird, ab. Hierzu wird als nächstes noch einmal kurz der Gang der Auswertung aufgezeigt,<br />
bevor dann die Ergebnisse der Fehlerabschätzung vorgestellt werden.<br />
2.5.2.1 Gang der Auswertung<br />
Zur Bestimmung der inelastischen Sekundärsignalverläufe wird für die bei der XSW-<br />
Messung verwendeten diskreten Punkte (typischerweise 24 oder 32 Punkte) auf der<br />
Reflektivitätskurve jeweils die integrale Intensität der zum Fluoreszenz- bzw. Photoelektronenspektrum<br />
beitragenden Komponente bzw. Spezies mit Hilfe des Programms<br />
swan (Autor: Thorsten Kracht (DESY, Hamburg)) bestimmt. Hierzu werden<br />
die einzelnen Spektren nach Abzug eines konstanten bzw. linearen Untergrunds mit<br />
Hilfe von Gauß-Funktionen angepasst. Da das Programm swan weder einen speziell<br />
für XPS-Spektren benötigten Sekundärelektronenhintergrundabzug (Shirley- oder<br />
Tougaard-Untergrund) noch zur Anpassung der einzelnen Spezies benötigte Voigt-<br />
Profile implementiert hat, werden im Falle eines Photoelektronenspektrums ebenfalls<br />
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