Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

2.5 Stehende Röntgenwellenfelder
Gleichung (2.39) zu einer kohärenten Fraktion von nahezu null führt. Da allein der
geometrische Faktor für Sauerstoff zu einer fast verschwindenden kohärenten Fraktion
führt, ist die Verwendung des inelastischen Sekundärsignals von Sauerstoff nicht
geeignet, um die kristalline Qualität eines Seltenerdoxid-Films in einer kubischen
Kristallstruktur zu beurteilen. Es ist jedoch anhand des inelastischen Sekundärsignals
von Sauerstoff möglich die hexagonale Kristallstruktur von einer kubischen
Kristallstruktur zu unterscheiden, wie in der Diplomarbeit [62] gezeigt werden konnte,
da die hexagonale Kristallstruktur eine deutlich von null verschiedene kohärente
Fraktion für Sauerstoff aufweist, während sich die kohärenten Fraktionen von Cer
für die Kristallstrukturen nicht merklich unterscheiden. Im Folgenden wird die Diskussion
auf das inelastische Sekundärsignal von Cer beschränkt.
Um die ideale kohärente Fraktion anhand des geometrischen Faktors und die kohärente
Position für Ce 2 O 3 Filme mit mehreren Trilagen für die (111)-Bragg-Reflexion
zu bestimmen, zeigt Abb. 2.18 exemplarisch drei lateral voll verspannte Bixbyit-
O 0,75 -Ce-O 0,75 -Trilagen auf Si(111), die wieder unter der Annahme von Volumenerhaltung
eine gegenüber der Volumenstruktur entsprechend vergrößerte vertikale
Gitterkonstante aufweisen, die um 8,4 % größer als der Si(111)-Netzebenenabstand
d 111 (in Blau hervorgehoben) ist. Dadurch weicht die mittlere Cer-Atomposition
pro Trilage n immer weiter vom n-fachen Abstand n · d 111 ab. Dies hat jedoch
zur Folge, dass sich die ideale kohärente Fraktion mit jeder weiteren Trilage verringert
und die kohärente Position zunimmt. Man erhält für drei Trilagen einen
Wert von f Ce,theo.
c,(111)
= 0,8526 und die kohärente Position beträgt entsprechend der
[111]
d 111
[110]
[112]
Abb. 2.18 Strukturmodell von drei lateral voll verspannten Bixbyit-O 0,75 -Ce-O 0,75 -
Trilagen auf Si(111), die unter der Annahme von Volumenerhaltung eine
gegenüber der Volumenstruktur entsprechend vergrößerte vertikale Gitterkonstante
aufweisen. Die Si(111)-Beugungsebenen mit dem Abstand
von d 111 sind in Blau hervorgehoben. (nach [102])
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