Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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2.5 Stehende Röntgenwellenfelder<br />
Gleichung (2.39) zu einer kohärenten Fraktion von nahezu null führt. Da allein der<br />
geometrische Faktor für Sauerstoff zu einer fast verschwindenden kohärenten Fraktion<br />
führt, ist die Verwendung des inelastischen Sekundärsignals von Sauerstoff nicht<br />
geeignet, um die kristalline Qualität eines <strong>Seltenerdoxid</strong>-Films in einer kubischen<br />
Kristallstruktur zu beurteilen. Es ist jedoch anhand des inelastischen Sekundärsignals<br />
von Sauerstoff möglich die hexagonale Kristallstruktur von einer kubischen<br />
Kristallstruktur zu unterscheiden, wie in der Diplomarbeit [62] gezeigt werden konnte,<br />
da die hexagonale Kristallstruktur eine deutlich von null verschiedene kohärente<br />
Fraktion für Sauerstoff aufweist, während sich die kohärenten Fraktionen von Cer<br />
für die Kristallstrukturen nicht merklich unterscheiden. Im Folgenden wird die Diskussion<br />
auf das inelastische Sekundärsignal von Cer beschränkt.<br />
Um die ideale kohärente Fraktion anhand des geometrischen Faktors und die kohärente<br />
Position für Ce 2 O 3 Filme mit mehreren Trilagen für die (111)-Bragg-Reflexion<br />
zu bestimmen, zeigt Abb. 2.18 exemplarisch drei lateral voll verspannte Bixbyit-<br />
O 0,75 -Ce-O 0,75 -Trilagen auf Si(111), die wieder unter der Annahme von Volumenerhaltung<br />
eine gegenüber der Volumenstruktur entsprechend vergrößerte vertikale<br />
Gitterkonstante aufweisen, die um 8,4 % größer als der Si(111)-Netzebenenabstand<br />
d 111 (in Blau hervorgehoben) ist. Dadurch weicht die mittlere Cer-Atomposition<br />
pro Trilage n immer weiter vom n-fachen Abstand n · d 111 ab. Dies hat jedoch<br />
zur Folge, dass sich die ideale kohärente Fraktion mit jeder weiteren Trilage verringert<br />
und die kohärente Position zunimmt. Man erhält für drei Trilagen einen<br />
Wert von f Ce,theo.<br />
c,(111)<br />
= 0,8526 und die kohärente Position beträgt entsprechend der<br />
[111]<br />
d 111<br />
[110]<br />
[112]<br />
Abb. 2.18 Strukturmodell von drei lateral voll verspannten Bixbyit-O 0,75 -Ce-O 0,75 -<br />
Trilagen auf Si(111), die unter der Annahme von Volumenerhaltung eine<br />
gegenüber der Volumenstruktur entsprechend vergrößerte vertikale Gitterkonstante<br />
aufweisen. Die Si(111)-Beugungsebenen mit dem Abstand<br />
von d 111 sind in Blau hervorgehoben. (nach [102])<br />
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