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Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

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5 <strong>Wachstum</strong>, Morphologie und Oxidationszustand von CeO x /Ru(0001)<br />

deshalb zu den B-Typ Ceroxid-Rotationsdomänen. Da es keinen sichtbaren qualitativen<br />

Unterschied in dem Nukleationsverhalten, der Form und der Verteilung der<br />

Inseln auf der Oberfläche zwischen den A-Typ und den B-Typ Domänen gibt, liegt<br />

der Verdacht nahe, dass bei Nukleation der Ceroxid-Inseln an Stufenkanten und<br />

Stufenbündeln die lokale Orientierung der Stufenkanten und Stufenbündel die azimutale<br />

Ausrichtung und damit den Typ der Ceroxid-Inseln zum Substrat bestimmt.<br />

Dies verdeutlicht noch einmal den starken Einfluss der Substratmorphologie von<br />

Ru(0001) auf das <strong>Wachstum</strong> der Ceroxid-Inseln.<br />

Neben den Ru(0001)-Beugungsreflexen und dem p(1,4 × 1,4) Ceroxid-Beugungsmuster<br />

weisen die LEED-Aufnahmen in den Abbildungen 5.9 und 5.10 zusätzlich<br />

die p(2 × 2)O Sauerstoffphase [214, 215] auf. Obwohl die p(2 × 2)3O Sauerstoffphase<br />

[216] anhand des Beugungsmusters nicht ausgeschlossen werden kann, ist das Auftreten<br />

dieser Phase bei den sehr hohen <strong>Wachstum</strong>stemperaturen von 700 ℃–1000℃<br />

sehr unwahrscheinlich. Aus diesem Grund wird von der p(2 × 2)O Sauerstoffphase<br />

ausgegangen. Die zugehörigen p(2 × 2)O Beugungsreflexe zeigen in Abb. 5.9 (a) und<br />

Abb. 5.10 (a) und (b) eine zusätzliche Aufspaltung, die auf Antiphasen-Domänen mit<br />

einer in diesem Bereich temperaturunabhängigen Domänengröße von (3,2 ± 0,2) nm<br />

zurückgeführt werden kann. Lediglich für eine <strong>Wachstum</strong>stemperatur von 800 ℃<br />

(Abb. 5.9 (b)) kann keine Aufspaltung der p(2 × 2)O Beugungsreflexe vorgefunden<br />

werden und es kommt somit bei dieser <strong>Wachstum</strong>stemperatur zu keiner Ausbildung<br />

von Antiphasen-Domänen.<br />

Für die Deposition von Ceroxid bei Substrattemperaturen von 360 ℃–1000 ℃ und<br />

den verwendeten Sauerstoffhintergrunddrücken von p O2 = 1 × 10 −8 Torr bis p O2 =<br />

5 × 10 −7 Torr kann das <strong>Wachstum</strong> von ausgedehnten Facetten anhand von LEED-<br />

Untersuchungen des reziproken Raums im Bereich von 40 eV–100 eV ausgeschlossen<br />

werden. Dies ist in sehr gutem Einklang mit den Ergebnissen aus den AFM-<br />

Untersuchungen, die die Präsenz sehr steiler Ceroxid-Inselkanten belegen.<br />

Um zusätzlich die Struktur und Morphologie des Ceroxids auf Ru(0001) während<br />

des Heizens auf hohe Temperaturen zu studieren, zeigt Abb. 5.12 (a)–(e) LEED-<br />

Aufnahmen während des Heizens von 430 ℃ bis 1000 ℃ nach dem <strong>Wachstum</strong> von<br />

2,4 ML Ceroxid bei 430 ℃ und einem Sauerstoffhintergrunddruck von p O2 = 2 ×<br />

10 −7 Torr. Das Heizen wurde dabei im UHV durchgeführt ohne die Probe einem<br />

Sauerstoffhintergrunddruck auszusetzen. Abb. 5.12 (a) zeigt das Beugungsbild von<br />

voll oxidiertem CeO 2 , welches bei einer niedrigen Temperatur von 430 ℃ gewachsen<br />

wurde, mit der charakteristischen Verteilung von A- und B-Typ Ceroxid-Rotationsdomänen.<br />

Mit zunehmender Temperatur nimmt die Intensität der B-Typ<br />

Beugungsreflexe relativ zu den A-Typ Reflexen ab, während die Ru(0001)-Beugungsreflexe<br />

an Intensität gewinnen. Zum Ende des Heizens bei 1000 ℃ besitzen<br />

die Ru(0001)-Reflexe die höchste Intensität im Beugungsbild (Abb. 5.12 (e)) und<br />

es sind nur noch A-Typ Ceroxid-Domänen in der LEED-Aufnahme auszumachen.<br />

Sämtliche B-Typ Beugungsreflexe haben mit zunehmender Temperatur so stark an<br />

Intensität verloren, dass sie bei 1000 ℃ vollständig verschwunden sind. Daraus kann<br />

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