Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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5.2 <strong>Wachstum</strong>smodus von Ceroxid auf Ru(0001)<br />
(a)<br />
22.5 eV (b)<br />
30 eV<br />
4.5 ML<br />
15 µm<br />
4.5 ML<br />
30 µm<br />
Abb. 5.4 LEEM-Aufnahmen bei Gesichtsfeldern von (a) FoV = 15 µm und (b)<br />
FoV = 30 µm nach dem <strong>Wachstum</strong> von Ceroxid auf Ru(0001) bei 900 ℃<br />
Substrattemperatur und p O2 = 5 × 10 −7 Torr Sauerstoffhintergrunddruck.<br />
Verdeutlicht wird das Nukleationsverhalten von Ceroxid-Inseln auf Terrassen<br />
und an Stufenbündeln des Substrates. Ceroxid-Inseln mit einer fast<br />
perfekten Dreiecksform bilden sich hauptsächlich auf Substratterrassen<br />
aus, während die Nukleationsdichte an Stufenbündeln deutlich erhöht ist<br />
und die Ceroxid-Inseln stärker von der perfekten dreieckigen Struktur abweichen<br />
und kleiner sind. (aus [1])<br />
aus der (2 × 1)-O Sättigungsbedeckung bei Sauerstoffhintergrunddrücken im nahen<br />
UHV-Bereich begleitet. Wie man den LEEM-Aufnahmen entnehmen kann, ist die<br />
Nukleationsdichte der Ceroxid-Inseln an Stufenbündeln deutlich erhöht, während die<br />
Inselgröße sehr viel geringer ausfällt. Große Ceroxid-Inseln mit einer fast perfekten<br />
dreieckigen Form bilden sich hauptsächlich auf ausgedehnten Terrassen aus.<br />
Für eine detailliertere Untersuchung der Auswirkungen von Stufenkanten und Stufenbündeln<br />
auf die Form der Ceroxid-Inseln zeigt Abb. 5.5 LEEM-Aufnahmen vor<br />
und nach dem <strong>Wachstum</strong> von Ceroxid bei 850 ℃ Substrattemperatur und p O2 =<br />
5 × 10 −7 Torr Sauerstoffhintergrunddruck. Abbildung 5.5 (c) zeigt dabei die Überlagerung<br />
der Aufnahme (b) nach einer Driftkorrektur mit Aufnahme (a) um einen<br />
direkten Vergleich zwischen Substratmorphologie und Ceroxid-Inselform zu ermöglichen.<br />
Die Drift kommt durch das Abkühlen der Probe nach dem <strong>Wachstum</strong> zustande<br />
und kann während der Messung nicht vollständig kompensiert werden. Es wird<br />
deutlich, dass die Substratstufen trotz einer sehr hohen <strong>Wachstum</strong>stemperatur von<br />
850 ℃ einen deutlichen Einfluss auf die Form der Ceroxid-Inseln ausüben. Während<br />
die Kanten der Ceroxid-Inseln, die parallel zum Gradienten des lokalen Höhenprofils<br />
des Substrates bzw. in Richtung der lokalen Kristall-Fehlorientierung verlaufen,<br />
einen sehr geraden Verlauf aufweisen, ist dies nicht der Fall für Ceroxid-Inselkanten,<br />
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