Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

4.5 Charakterisierung von Seltenerdoxid-Filmen mit Schichtdicken im Bereich
einiger Nanometer mit Hilfe von XRD und GIXRD
(−10l)-CTR um Lanthanoxid-Reflexe in der kubischen Phase handelt. Da Lanthanoxid
lediglich im La 3+ -Oxidationszustand vorkommt, kann daraus sofort gefolgert
werden, dass es sich um die Bixbyit-Phase handelt. Das Auftreten der hexagonalen
Phase kann erneut ausgeschlossen werden, da an den Positionen l = 0,5, l = 1,0 und
l = 1,5 keine Intensität in der reziproken Gitterkarte auftritt. Die elliptische Form
der Lanthanoxid-Bragg-Reflexe kann erneut auf Tilt-Mosaike zurückgeführt werden,
die bei einer analogen Auswertung zum Ceroxid eine mittlere Fehlorientierung von
θ = (2,0±0,2) ° aufweisen. Im Rahmen des Fehlers stimmt diese Fehlorientierung mit
der für das (5-Cl)-Ceroxid-Wachstum überein. Die vertikale Gitterkonstante wurde
anhand des (01 4 /3) S -Reflexes bestimmt und ergibt einen Wert von 3,32 ± 0,02 Å.
Für die Untersuchung der lateralen strukturellen Eigenschaften des Lanthanoxid-
Films wurde in Abb. 4.54 eine reziproke Gitterkarte in der Nähe des (−10 1 /3) S -
Reflexes in lateraler Richtung bei konstantem l-Wert aufgenommen. Die elliptische
Form des Lanthanoxid-Bragg-Reflexes deutet auf das Vorhandensein von Twist-
Mosaiken hin. Dies sind also Kleinwinkelmosaike, die gegenüber der Oberflächennormalen
verdreht und nicht verkippt sind. Eine Anpassung des Reflexes mit Hilfe eines
Gauß-Profiles senkrecht zur h-Richtung liefert eine mittlere Fehlorientierung anhand
der Halbwertsbreite von (θ = 2,3 ± 0,2) °. Für die Bestimmung der lateralen Gitterkonstante
wurde ein Schnitt durch die reziproke Gitterkarte entlang der h-Richtung
(-0.955 0 0.315)
-0.2
(12 – 1)
-0.1
Abb. 4.54
Reziproke Gitterkarte in lateraler Richtung
bei konstantem l-Wert in der Nähe
des (−10 1 /3) S -Reflexes aufgenommen
nach dem Wachstum von 8 nm
Lanthanoxid auf Chlor-passiviertem
Cl/Si(111)-(1 × 1) bei einer Substrattemperatur
von 500 ℃ und einem Sauerstoffhintergrunddruck
von p O2 = 5 ×
10 −7 mbar (5-Cl)
k (r. l. u.)
0.0
0.1
-0.2 0 0.2
Q
II
( Å -1
)
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