Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

4 Strukturelle und chemische Zusammensetzung von Seltenerdoxid-Filmen
auf Si(111)
(0 1 0.33)
(0 1 0.33)
(112 – )
(112 – )
0.2
0.2
(1-Cl)
0.1
(5-Cl)
h (r. l. u.)
0.0
h (r. l. u.)
-0.0
-0.1
-0.2
-0.2
-0.1 0 0.1
Q
II
( Å -1
)
-0.1 0 0.1
Q II ( Å -1
)
Abb. 4.50 Reziproke Gitterkarten der Ceroxid-Filme aus Abb. 4.47 und Abb. 4.46
in lateraler Richtung bei konstantem l-Wert in der Nähe des (01 1 /3) S -
Reflexes aufgenommen nach dem Wachstum von Ceroxid auf Chlorpassiviertem
Cl/Si(111)-(1 × 1) bei einer Substrattemperatur von 500 ℃
und einem Sauerstoffhintergrunddruck von p O2 = 1 × 10 −7 mbar (1-Cl)
und p O2 = 5 × 10 −7 mbar (5-Cl)
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