- Seite 1 und 2:
Adsorbat-modifiziertes Wachstum ult
- Seite 3:
Adsorbat-modifiziertes Wachstum ult
- Seite 7:
Abstract Rare-earth oxides (REOx) a
- Seite 10 und 11:
Inhaltsverzeichnis 4.1.2 Adsorbate
- Seite 13 und 14:
1 Einleitung Seltenerdoxide werden
- Seite 15 und 16:
nität für die MOSFET-Anwendung er
- Seite 17 und 18:
2 Grundlagen und Messmethoden In di
- Seite 19 und 20:
2.1 Kristallstrukturen von Seltener
- Seite 21 und 22:
2.2 Röntgen-Photoelektronenspektro
- Seite 23:
2.2 Röntgen-Photoelektronenspektro
- Seite 26 und 27:
2 Grundlagen und Messmethoden Der E
- Seite 28 und 29:
2 Grundlagen und Messmethoden erhä
- Seite 30 und 31:
2 Grundlagen und Messmethoden K K
- Seite 32 und 33:
2 Grundlagen und Messmethoden 2.4 D
- Seite 34 und 35:
2 Grundlagen und Messmethoden dar u
- Seite 36 und 37:
2 Grundlagen und Messmethoden zur O
- Seite 38 und 39:
2 Grundlagen und Messmethoden ν=
- Seite 40 und 41:
2 Grundlagen und Messmethoden Aus G
- Seite 42 und 43:
2 Grundlagen und Messmethoden auf d
- Seite 44 und 45:
2 Grundlagen und Messmethoden Gitte
- Seite 46 und 47:
2 Grundlagen und Messmethoden ein l
- Seite 48 und 49:
2 Grundlagen und Messmethoden Norma
- Seite 50 und 51:
2 Grundlagen und Messmethoden Ergeb
- Seite 52 und 53:
2 Grundlagen und Messmethoden beam
- Seite 54 und 55:
2 Grundlagen und Messmethoden leuch
- Seite 56 und 57:
2 Grundlagen und Messmethoden gen u
- Seite 58 und 59:
3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 60 und 61:
3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 62 und 63:
3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 64 und 65:
3 Experimenteller Aufbau und Proben
- Seite 67 und 68:
4 Strukturelle und chemische Zusamm
- Seite 69 und 70:
4.1 Stand der Wissenschaft Abb. 4.2
- Seite 71 und 72:
4.1 Stand der Wissenschaft 1/3 ML G
- Seite 73 und 74:
4.1 Stand der Wissenschaft Zarraga-
- Seite 75 und 76:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 77 und 78:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 79 und 80:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 81 und 82:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 83 und 84:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 85 und 86:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 87 und 88:
4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 89 und 90: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 91 und 92: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 93 und 94: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 95 und 96: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 97 und 98: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 99 und 100: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 101 und 102: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 103 und 104: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 105 und 106: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 107 und 108: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 109 und 110: 4.2 Charakterisierung ultradünner
- Seite 111 und 112: 4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 113 und 114: 4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 115 und 116: 4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 117 und 118: 4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 119 und 120: 4.3 Charakterisierung ultradünner
- Seite 121 und 122: 4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 123 und 124: 4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 125 und 126: 4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 127 und 128: 4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
- Seite 129 und 130: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 131 und 132: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 133 und 134: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 135 und 136: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 137 und 138: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 139: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 143 und 144: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 145 und 146: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 147 und 148: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 149 und 150: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 151 und 152: 4.5 Charakterisierung von Seltenerd
- Seite 153 und 154: 4.6 Zusammenfassung und Ausblick 4.
- Seite 155 und 156: 4.6 Zusammenfassung und Ausblick Fi
- Seite 157 und 158: 5 Wachstum, Morphologie und Oxidati
- Seite 159 und 160: 5.1 Stand der Wissenschaft rigen Be
- Seite 161 und 162: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 163 und 164: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 165 und 166: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 167 und 168: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 169 und 170: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 171 und 172: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 173 und 174: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 175 und 176: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 177 und 178: 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf
- Seite 179 und 180: 5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 181 und 182: 5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 183 und 184: 5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 185 und 186: 5.3 Lokaler Oxidationszustand der C
- Seite 187 und 188: 5.4 Zusammenfassung und Ausblick 5.
- Seite 189 und 190: 5.4 Zusammenfassung und Ausblick ni
- Seite 191 und 192:
Abkürzungsverzeichnis AFM ALD Atom
- Seite 193 und 194:
Literaturverzeichnis [1] Kaemena, B
- Seite 195 und 196:
Literaturverzeichnis [20] Hubbard,
- Seite 197 und 198:
Literaturverzeichnis [44] Campbell,
- Seite 199 und 200:
Literaturverzeichnis [69] Schattke,
- Seite 201 und 202:
Literaturverzeichnis [95] Zegenhage
- Seite 203 und 204:
Literaturverzeichnis [120] Fendt, R
- Seite 205 und 206:
Literaturverzeichnis [145] Furusawa
- Seite 207 und 208:
Literaturverzeichnis [166] Copel, M
- Seite 209 und 210:
Literaturverzeichnis [189] Chambers
- Seite 211:
Literaturverzeichnis [212] Kotani,
- Seite 214 und 215:
Wissenschaftliche Beiträge Beiträ
- Seite 216:
Danksagung Bei meinen Freunden und