Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

4.5 Charakterisierung von Seltenerdoxid-Filmen mit Schichtdicken im Bereich
einiger Nanometer mit Hilfe von XRD und GIXRD
(01)
(01)
Si(131)
1.5
fluorite (B)
l (r. l. u.)
1.0
(1-Cl)
(5-Cl)
0.5
fluorite (B)
-0.2 0 0.2
Q II ( Å -1
)
-0.1 0.1
Q II ( Å -1
)
Abb. 4.49 Reziproke Gitterkarten der (01l)-CTRs der Ceroxid-Filme aus Abb. 4.47
und Abb. 4.46 aufgenommen nach dem Wachstum von Ceroxid auf Chlorpassiviertem
Cl/Si(111)-(1 × 1) bei einer Substrattemperatur von 500 ℃
und einem Sauerstoffhintergrunddruck von p O2 = 1 × 10 −7 mbar (1-Cl)
und p O2 = 5 × 10 −7 mbar (5-Cl). Am Rand der Karten ist die dem
Reflex zugehörige Kristallstruktur und Orientierung des Ceroxid-Films
angegeben. Der Silizium-Bragg-Reflex ist zusätzlich in Volumenkoordinaten
notiert.
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