Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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4.4 <strong>Wachstum</strong> von <strong>Seltenerdoxid</strong>-Multilagen-Filmen<br />
Normalized Intensity (arb. units)<br />
2.5<br />
2.0<br />
1.5<br />
1.0<br />
0.5<br />
Fluorescence Yield<br />
Reflectivity<br />
La L α<br />
f c<br />
= 0.55<br />
Φ c = 1.04<br />
(a)<br />
f c = 0.50<br />
Φ c<br />
= 1.09<br />
Photoelectron Yield<br />
Reflectivity<br />
La3d<br />
Ce3d<br />
f c = 0.80<br />
Φ c = 1.07<br />
(b)<br />
f c = 0.63<br />
Φ c = 1.08<br />
Ce L α<br />
−0.5 0 0.5 1<br />
0<br />
−1 0 1<br />
E−E (eV) Bragg<br />
E−E Bragg<br />
(eV)<br />
Abb. 4.38 XSW-Daten (offene Symbole) und theoretische Anpassung nach der dynamischen<br />
Theorie der Röntgenbeugung (durchgezogene Linien) unter<br />
Verwendung der (a) L α - und CeL α -Fluoreszenz und (b) von La3d- und<br />
Ce3d-Photoelektronen in (111)-Bragg-Reflexion bei einer Photonenenergie<br />
von (a) 6,1 keV und (b) 3,35 keV nach dem <strong>Wachstum</strong> von 6 Å Ce 2 O 3<br />
auf 1,8 nm Lanthanoxid, welches unter (5-Cl) präpariert wurde, bei einer<br />
Substrattemperatur von 500 ℃ und einem Sauerstoffhintergrunddruck<br />
von p O2 = 5 × 10 −7 mbar<br />
von Ce 2 O 3 eine extrem hohe Ordnung aufweisen, wie die kohärente Fraktion des<br />
Photoelektronen-Signals zeigt, während die Trilagen an der Grenzfläche Kristallinität<br />
verlieren, sodass die Gesamtkristallinität des La 2 O 3 -Films, die durch die<br />
Fluoreszenz-XSW-Daten beschrieben wird, konstant bleibt. Die Zunahme der Kristallinität<br />
in den obersten Trilagen ist möglicherweise darauf zurückzuführen, dass<br />
durch das Ce 2 O 3 -<strong>Wachstum</strong> Sauerstoff-Fehlstellen im La 2 O 3 -Film besetzt werden,<br />
wie es z. B. von Wong et al. [159] für einen CeO x /La 2 O 3 -Multilagen-Film beobachtet<br />
wurde.<br />
Um einen vertieften Einblick in den Kristallinitätsgradienten des La 2 O 3 -Films nach<br />
der Deposition von Ce 2 O 3 zu erhalten, wurden quantitative XSW-Modellierungen<br />
durchgeführt (siehe auch Kap. 2.5.1), die die Ausdringtiefe der La3d-Photoelektronen<br />
mit einer kinetischen Energie von 2,5 keV in dem La 2 O 3 -Film berücksichtigen.<br />
Die Abschwächung der La3d-Photoelektronen im Ce 2 O 3 -Film kann dabei vernachlässigt<br />
werden, da sämtliche Photoelektronen, die aus dem La 2 O 3 -Film emittiert<br />
werden, eine identische Abschwächung von e −d Ce 2 O 3 /λ Ce2 O 3 erfahren. Deswegen werden<br />
die kohärente Fraktion und die kohärente Position des La3d-Photoelektronen-<br />
111
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