Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

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Inhaltsverzeichnis 4.1.2 Adsorbate auf Si(111): Chlor, Silber und Gallium . . . . . . . . . 56 4.1.2.1 Cl/Si(111) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56 4.1.2.2 Ag/Si(111) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57 4.1.2.3 Ga/Si(111) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58 4.1.3 Wachstum von Ceroxid und Lanthanoxid auf Si(111) . . . . . . . 59 4.2 Charakterisierung ultradünner Ceroxid-Filme . . . . . . . . . . . . 62 4.2.1 Ergebnisse der Diplomarbeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62 4.2.2 Kristalline Qualität in Abhängigkeit des Sauerstoffhintergrunddrucks und der Chlor-Passivierung . . . . . 68 4.2.3 Vergleich des Einflusses unterschiedlicher Adsorbate auf die Kristallinität ultradünner Ceroxid-Filme . . . . . . . . . . . . . . 73 4.2.4 Grenzfläche zwischen Ce 2 O 3 und Silizium . . . . . . . . . . . . . 78 4.2.5 Verhalten der Adsorbate während des Wachstums . . . . . . . . . 87 4.2.5.1 Verhalten des Chlors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87 4.2.5.2 Verhalten des Silbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91 4.2.5.3 Verhalten des Galliums . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95 4.3 Charakterisierung ultradünner Lanthanoxid-Filme . . . . . . . . . . 99 4.3.1 Spektroskopische Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99 4.3.2 Strukturelle Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102 4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Multilagen-Filmen . . . . . . . . . . 108 4.4.1 Spektroskopische Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108 4.4.2 Strukturelle Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110 4.5 Charakterisierung von Seltenerdoxid-Filmen mit Schichtdicken im Bereich einiger Nanometer mit Hilfe von XRD und GIXRD . . . . 116 4.5.1 Reziproke Gitterkarte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 4.5.2 CeO x -Filme: Strukturelle Eigenschaften in Abhängigkeit des Sauerstoffhintergrunddrucks, der Wachstumsrate und der Chlor-Passivierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118 4.5.2.1 Oxidationszustand . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120 4.5.2.2 Spekulare Beugung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120 4.5.2.3 Auswirkungen des Verhältnisses von Cer-Fluss zu Sauerstoffhintergrunddruck . . . . . . . . . . . . . . . . . 126 4.5.2.4 Beugung unter streifendem Einfall . . . . . . . . . . . . . 128 4.5.2.5 Nachoxidation und Kristallinität der Ceroxid-Filme . . . 136 4.5.2.6 Zusammenfassung der Röntgenbeugungs-Ergebnisse zum Ceroxid-Wachstum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137 4.5.3 Strukturelle Eigenschaften von Lanthanoxid-Filmen . . . . . . . . 137 4.6 Zusammenfassung und Ausblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141 5 Wachstum, Morphologie und Oxidationszustand von CeO x /Ru(0001) 145 5.1 Stand der Wissenschaft . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145 5.1.1 Wachstum von Ceroxid auf Übergangsmetallen . . . . . . . . . . 146 x
Inhaltsverzeichnis 5.2 Wachstumsmodus von Ceroxid auf Ru(0001) . . . . . . . . . . . . 148 5.2.1 Einfluss der Substratmorphologie . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152 5.2.2 Oxidationszustand . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156 5.2.3 Laterale Beziehung der Ceroxid-Inseln zum Substrat . . . . . . . 157 5.3 Lokaler Oxidationszustand der Ceroxid-Inseln . . . . . . . . . . . . 167 5.4 Zusammenfassung und Ausblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175 Abkürzungsverzeichnis 179 Literaturverzeichnis 181 Wissenschaftliche Beiträge 201 xi
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3 Experimenteller Aufbau und Proben
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4 Strukturelle und chemische Zusamm
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4.1 Stand der Wissenschaft Abb. 4.2
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4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Mult
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4.5 Charakterisierung von Seltenerd
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4.6 Zusammenfassung und Ausblick 4.
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5 Wachstum, Morphologie und Oxidati
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Abkürzungsverzeichnis AFM ALD Atom
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Literaturverzeichnis [1] Kaemena, B
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