Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB
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4 Strukturelle und chemische Zusammensetzung von <strong>Seltenerdoxid</strong>-Filmen<br />
auf Si(111)<br />
[ 1 1 1 ]<br />
[112]<br />
Abb. 4.21 Strukturmodell anhand der ClK α -Fluoreszenz-XSW-Daten in (111)-<br />
Bragg-Reflexion für (5-Cl) und (10-Cl) für das an der Grenzfläche verbleibende<br />
Chlor. Die Cl-Atome befinden sich dabei auf den on-top Bindungsplätzen.<br />
Der Ce 2 O 3 -Film weist einen der kohärenten Fraktion für<br />
(5-Cl) entsprechenden Grenzflächenabstand auf und die Ceratome an<br />
der Grenzfläche wurden auf H3-Plätzen platziert. Dies gewährleistet eine<br />
ungefähr um etwa 2,5 Å gleichverteilte Ce-Cl-Bindungslänge, wenn man<br />
annimmt, dass der Ce 2 O 3 -Film pseudomorph verspannt aufwächst.<br />
Chloratome auf den on-top Bindungsplätzen und der Ce 2 O 3 -Film weist einen der<br />
kohärenten Position Φ c für (5-Cl) entsprechenden Grenzflächenabstand auf. Die Ceratome<br />
an der Grenzfläche wurden dabei auf sogenannte H3-Plätze platziert. Dies<br />
gewährleistet eine um etwa 2,5 Å gleichverteilte Ce-Cl-Bindungslänge, wenn man<br />
davon ausgeht, dass der Ce 2 O 3 -Film pseudomorph verspannt aufwächst. Diese Bindungslänge<br />
ist jedoch sehr viel kürzer als die Ce-Cl-Bindungslänge von 3,18 Å, die<br />
für Ceroxychlorid CeOCl berichtet wird. [168]<br />
Um die Struktur des Chlors an der Grenzfläche weiter aufzuklären, zeigt Abb. 4.22<br />
XSW-Daten, die in (220)-Bragg-Reflexion bei einer Photonenenergie von 3,35 keV<br />
nach dem <strong>Wachstum</strong> von 6 Å Ce 2 O 3 bei Präparationsbedingungen (5-Cl) aufgenommen<br />
wurden. Aus der Anpassung der Daten erhält man anhand der kohärenten Fraktion<br />
von fc,(220) Cl1s (5-Cl) = 0,31 und der kohärenten Position von ΦCl1s<br />
c,(220)<br />
(5-Cl) = 0,33<br />
laterale Strukturinformationen. Für die Amplitude und Phase des 220ten Fourierkoeffizienten<br />
der atomaren Verteilungsfunktion des Chlors fanden Flege et al. [164]<br />
für das Chlor-passivierte Cl/Si(111)-(1 × 1)-Substrat Werte von fc,(220) Cl1s = 0,85 und<br />
Φ Cl1s<br />
c,(220) = 0,89. Die Ergebnisse nach dem <strong>Wachstum</strong> von Ce 2O 3 weichen deutlich<br />
davon ab. Da lediglich 11 % des Chlors nicht an der Grenzfläche verbleiben, ist diese<br />
Diskrepanz sowohl in der kohärenten Fraktion als auch in der kohärenten Position<br />
selbst unter der Annahme, dass das an die Oberfläche segregierende Chlor lateral<br />
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