Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

4 Strukturelle und chemische Zusammensetzung von Seltenerdoxid-Filmen
auf Si(111)
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Abb. 4.21 Strukturmodell anhand der ClK α -Fluoreszenz-XSW-Daten in (111)-
Bragg-Reflexion für (5-Cl) und (10-Cl) für das an der Grenzfläche verbleibende
Chlor. Die Cl-Atome befinden sich dabei auf den on-top Bindungsplätzen.
Der Ce 2 O 3 -Film weist einen der kohärenten Fraktion für
(5-Cl) entsprechenden Grenzflächenabstand auf und die Ceratome an
der Grenzfläche wurden auf H3-Plätzen platziert. Dies gewährleistet eine
ungefähr um etwa 2,5 Å gleichverteilte Ce-Cl-Bindungslänge, wenn man
annimmt, dass der Ce 2 O 3 -Film pseudomorph verspannt aufwächst.
Chloratome auf den on-top Bindungsplätzen und der Ce 2 O 3 -Film weist einen der
kohärenten Position Φ c für (5-Cl) entsprechenden Grenzflächenabstand auf. Die Ceratome
an der Grenzfläche wurden dabei auf sogenannte H3-Plätze platziert. Dies
gewährleistet eine um etwa 2,5 Å gleichverteilte Ce-Cl-Bindungslänge, wenn man
davon ausgeht, dass der Ce 2 O 3 -Film pseudomorph verspannt aufwächst. Diese Bindungslänge
ist jedoch sehr viel kürzer als die Ce-Cl-Bindungslänge von 3,18 Å, die
für Ceroxychlorid CeOCl berichtet wird. [168]
Um die Struktur des Chlors an der Grenzfläche weiter aufzuklären, zeigt Abb. 4.22
XSW-Daten, die in (220)-Bragg-Reflexion bei einer Photonenenergie von 3,35 keV
nach dem Wachstum von 6 Å Ce 2 O 3 bei Präparationsbedingungen (5-Cl) aufgenommen
wurden. Aus der Anpassung der Daten erhält man anhand der kohärenten Fraktion
von fc,(220) Cl1s (5-Cl) = 0,31 und der kohärenten Position von ΦCl1s
c,(220)
(5-Cl) = 0,33
laterale Strukturinformationen. Für die Amplitude und Phase des 220ten Fourierkoeffizienten
der atomaren Verteilungsfunktion des Chlors fanden Flege et al. [164]
für das Chlor-passivierte Cl/Si(111)-(1 × 1)-Substrat Werte von fc,(220) Cl1s = 0,85 und
Φ Cl1s
c,(220) = 0,89. Die Ergebnisse nach dem Wachstum von Ce 2O 3 weichen deutlich
davon ab. Da lediglich 11 % des Chlors nicht an der Grenzfläche verbleiben, ist diese
Diskrepanz sowohl in der kohärenten Fraktion als auch in der kohärenten Position
selbst unter der Annahme, dass das an die Oberfläche segregierende Chlor lateral
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