Adsorbat-modifiziertes Wachstum ultradünner Seltenerdoxid ... - E-LIB

Inhaltsverzeichnis
4.1.2 Adsorbate auf Si(111): Chlor, Silber und Gallium . . . . . . . . . 56
4.1.2.1 Cl/Si(111) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
4.1.2.2 Ag/Si(111) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
4.1.2.3 Ga/Si(111) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
4.1.3 Wachstum von Ceroxid und Lanthanoxid auf Si(111) . . . . . . . 59
4.2 Charakterisierung ultradünner Ceroxid-Filme . . . . . . . . . . . . 62
4.2.1 Ergebnisse der Diplomarbeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
4.2.2 Kristalline Qualität in Abhängigkeit des
Sauerstoffhintergrunddrucks und der Chlor-Passivierung . . . . . 68
4.2.3 Vergleich des Einflusses unterschiedlicher Adsorbate auf die
Kristallinität ultradünner Ceroxid-Filme . . . . . . . . . . . . . . 73
4.2.4 Grenzfläche zwischen Ce 2 O 3 und Silizium . . . . . . . . . . . . . 78
4.2.5 Verhalten der Adsorbate während des Wachstums . . . . . . . . . 87
4.2.5.1 Verhalten des Chlors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
4.2.5.2 Verhalten des Silbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
4.2.5.3 Verhalten des Galliums . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
4.3 Charakterisierung ultradünner Lanthanoxid-Filme . . . . . . . . . . 99
4.3.1 Spektroskopische Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.3.2 Strukturelle Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.4 Wachstum von Seltenerdoxid-Multilagen-Filmen . . . . . . . . . . 108
4.4.1 Spektroskopische Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
4.4.2 Strukturelle Untersuchungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
4.5 Charakterisierung von Seltenerdoxid-Filmen mit Schichtdicken im
Bereich einiger Nanometer mit Hilfe von XRD und GIXRD . . . . 116
4.5.1 Reziproke Gitterkarte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
4.5.2 CeO x -Filme: Strukturelle Eigenschaften in Abhängigkeit des
Sauerstoffhintergrunddrucks, der Wachstumsrate und der
Chlor-Passivierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
4.5.2.1 Oxidationszustand . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
4.5.2.2 Spekulare Beugung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
4.5.2.3 Auswirkungen des Verhältnisses von Cer-Fluss zu
Sauerstoffhintergrunddruck . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
4.5.2.4 Beugung unter streifendem Einfall . . . . . . . . . . . . . 128
4.5.2.5 Nachoxidation und Kristallinität der Ceroxid-Filme . . . 136
4.5.2.6 Zusammenfassung der Röntgenbeugungs-Ergebnisse
zum Ceroxid-Wachstum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
4.5.3 Strukturelle Eigenschaften von Lanthanoxid-Filmen . . . . . . . . 137
4.6 Zusammenfassung und Ausblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141
5 Wachstum, Morphologie und Oxidationszustand von CeO x /Ru(0001) 145
5.1 Stand der Wissenschaft . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
5.1.1 Wachstum von Ceroxid auf Übergangsmetallen . . . . . . . . . . 146
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