Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

werden, dass durch Plasmavorbehandlung eine Reinigung, chemische Modifizierung
und in vielen Fällen auch eine Glättung der Substratfolie erzielt wird und somit die
Anzahl der Defekte gesenkt werden kann.
Ergebnisse Experimentelle 88____________________________________________________5 Seite
Der Einfluss der Schichtdicke der aufgedampften Aluminiumschicht wurde ebenfalls
untersucht. Hier trat mit zunehmender Schichtdicke eine Abnahme der Defekthäufigkeit
auf; siehe Abb. 5-16.
Abb. 5-16: Lichtmikroskopisch (Durchlicht) ermittelte Defektgrößenhäufigkeitsverteilung an
aluminiumbedampften und plasmavorbehandelten 12 µm dicken PET-Folien verschiedener
optischer Dichte OD;
gesamte vermessene Fläche 988000 µm2
Einfluss der Aluminiumschichtdicke, Muster R1, R3, R5
Für diesen Fall ist ein ähnlicher Kurvenverlauf zu beobachten. Es lassen sich viele
kleine, aber nur wenig große Defekte in den Durchlichtaufnahmen detektieren. Dabei
spielt es nahezu keine Rolle, wie dick die aufgedampfte Schicht ist. Die Erhöhung der
Schichtdicke um den Faktor 2,3 führt auf eine höhere Abnahme der Zahl der Defekte um
Faktor 3,0. Die gesamte Defektfläche reduziert sich sogar um Faktor 3,4. Größere
Defekte können durch eine höhere Schichtdicke offenbar etwas besser verhindert
werden. Generell weisen dickere Aluminiumschichten auf PET-Folie eine geringere
Anzahl an Defekten auf.