Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
wer<strong>de</strong>n, dass durch Plasmavorbehandlung eine Reinigung, chemische Modifizierung<br />
und in vielen Fällen auch eine Glät<strong>tu</strong>ng <strong>de</strong>r Substratfolie erzielt wird und somit die<br />
Anzahl <strong>de</strong>r Defekte gesenkt wer<strong>de</strong>n kann.<br />
Ergebnisse Experimentelle 88____________________________________________________5 Seite<br />
Der Einfluss <strong>de</strong>r Schichtdicke <strong>de</strong>r aufgedampften Aluminiumschicht wur<strong>de</strong> ebenfalls<br />
untersucht. Hier trat mit zunehmen<strong>de</strong>r Schichtdicke eine Abnahme <strong>de</strong>r Defekthäufigkeit<br />
auf; siehe Abb. 5-16.<br />
Abb. 5-16: Lichtmikroskopisch (Durchlicht) ermittelte Defektgrößenhäufigkeitsverteilung an<br />
aluminiumbedampften und plasmavorbehan<strong>de</strong>lten 12 µm dicken PET-Folien verschie<strong>de</strong>ner<br />
optischer Dichte OD;<br />
gesamte vermessene Fläche 988000 µm2<br />
Einfluss <strong>de</strong>r Aluminiumschichtdicke, Muster R1, R3, R5<br />
Für diesen Fall ist ein ähnlicher Kurvenverlauf zu beobachten. Es lassen sich viele<br />
kleine, aber nur wenig große Defekte in <strong>de</strong>n Durchlichtaufnahmen <strong>de</strong>tektieren. Dabei<br />
spielt es nahezu keine Rolle, wie dick die aufgedampfte Schicht ist. Die Erhöhung <strong>de</strong>r<br />
Schichtdicke um <strong>de</strong>n Faktor 2,3 führt auf eine höhere Abnahme <strong>de</strong>r Zahl <strong>de</strong>r Defekte um<br />
Faktor 3,0. Die gesamte Defektfläche reduziert sich sogar um Faktor 3,4. Größere<br />
Defekte können durch eine höhere Schichtdicke offenbar etwas besser verhin<strong>de</strong>rt<br />
wer<strong>de</strong>n. Generell weisen dickere Aluminiumschichten auf PET-Folie eine geringere<br />
Anzahl an Defekten auf.