Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

verwendeten Objektiv mit numerischer Apertur 0,4) nachgewiesen werden können. Für
eine repräsentative Wiedergabe der Defektverteilung auf der Folienoberfläche wurden
an zehn unterschiedlichen, um mehrere Zentimeter voneinander entfernten Stellen
Aufnahmen gemacht. Diese wurden anschließend mit Bildanalysesoftware (DigiTrace
V2.20, der Firma Imatec Elektronische Bildanalysesysteme GmbH) ausgewertet und so
Defektgrößenhäufigkeitsverteilungen ermittelt.
87 Defektanalyse________________________________________________Seite Mikroskopische 5.5
Da die Vorhersage der Permeationswerte maßgeblich auf diesen Daten aufbaut, werden
sie in Abhängigkeit der einzelnen Einflussfaktoren detailliert dargestellt.
Abb. 5-15: Lichtmikroskopisch (Durchlicht) ermittelte Defektgrößenhäufigkeitsverteilung an
aluminiumbedampften 12 µm dicken PET-Folien optischer Dichte OD1,5;
gesamte vermessene Fläche 988000 µm2
Einfluss der Plasmavorbehandlung, Muster R1, R2
Es ist klar zu erkennen, dass die Plasmavorbehandlung über den gesamten
Größenbereich zu einer Reduzierung der Defektzahl führt. Besonders stark verringert
sich die Zahl kleiner Defekte. Die Gesamtzahl der Defekte nimmt durch die
Plasmavorbehandlung um Faktor 1,7 ab, während die Abnahme der gesamte
Defektfläche mit Faktor 1,8 etwas stärker ausgeprägt ist. Der Wert liegt jedoch noch
innerhalb der Schwankungsbreite der Reduktionsfaktoren. Eine eindeutige Aussage, ob
damit größere defektfördernde Strukturen durch die Plasmavorbehandlung etwas besser
abgebaut werden können, ist daher nicht zu treffen. Generell kann aber festgehalten