Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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verwen<strong>de</strong>ten Objektiv mit numerischer Aper<strong>tu</strong>r 0,4) nachgewiesen wer<strong>de</strong>n können. Für<br />
eine repräsentative Wie<strong>de</strong>rgabe <strong>de</strong>r Defektverteilung auf <strong>de</strong>r Folienoberfläche wur<strong>de</strong>n<br />
an zehn unterschiedlichen, um mehrere Zentimeter voneinan<strong>de</strong>r entfernten Stellen<br />
Aufnahmen gemacht. Diese wur<strong>de</strong>n anschließend mit Bildanalysesoftware (DigiTrace<br />
V2.20, <strong>de</strong>r Firma Imatec Elektronische Bildanalysesysteme GmbH) ausgewertet und so<br />
Defektgrößenhäufigkeitsverteilungen ermittelt.<br />
87 Defektanalyse________________________________________________Seite Mikroskopische 5.5<br />
Da die Vorhersage <strong>de</strong>r Permeationswerte maßgeblich auf diesen Daten aufbaut, wer<strong>de</strong>n<br />
sie in Abhängigkeit <strong>de</strong>r einzelnen Einflussfaktoren <strong>de</strong>tailliert dargestellt.<br />
Abb. 5-15: Lichtmikroskopisch (Durchlicht) ermittelte Defektgrößenhäufigkeitsverteilung an<br />
aluminiumbedampften 12 µm dicken PET-Folien optischer Dichte OD1,5;<br />
gesamte vermessene Fläche 988000 µm2<br />
Einfluss <strong>de</strong>r Plasmavorbehandlung, Muster R1, R2<br />
Es ist klar zu erkennen, dass die Plasmavorbehandlung über <strong>de</strong>n gesamten<br />
Größenbereich zu einer Reduzierung <strong>de</strong>r Defektzahl führt. Beson<strong>de</strong>rs stark verringert<br />
sich die Zahl kleiner Defekte. Die Gesamtzahl <strong>de</strong>r Defekte nimmt durch die<br />
Plasmavorbehandlung um Faktor 1,7 ab, während die Abnahme <strong>de</strong>r gesamte<br />
Defektfläche mit Faktor 1,8 etwas stärker ausgeprägt ist. Der Wert liegt jedoch noch<br />
innerhalb <strong>de</strong>r Schwankungsbreite <strong>de</strong>r Reduktionsfaktoren. Eine ein<strong>de</strong>utige Aussage, ob<br />
damit größere <strong>de</strong>fektför<strong>de</strong>rn<strong>de</strong> Struk<strong>tu</strong>ren durch die Plasmavorbehandlung etwas besser<br />
abgebaut wer<strong>de</strong>n können, ist daher nicht zu treffen. Generell kann aber festgehalten