Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Dadurch konnte zwar die Einkristallinität <strong>de</strong>r verschie<strong>de</strong>nen Kristallite nachgewiesen<br />
wer<strong>de</strong>n (Bereich A: Linienmuster), aufgrund <strong>de</strong>r starken Beugungskontraste an <strong>de</strong>r<br />
Kornrän<strong>de</strong>rn (dunkler Bereich zwischen A und C) und <strong>de</strong>r auftreten<strong>de</strong>n Moiré-Muster,<br />
die durch gegeneinan<strong>de</strong>r verdrehte und sich überlagern<strong>de</strong> Gitterstruk<strong>tu</strong>ren entstehen<br />
(siehe Bereich B, mit starkem Hell-Dunkel-Muster) war die Bestimmung <strong>de</strong>r Größe <strong>de</strong>r<br />
Kornzwischenräume jedoch nicht durchführbar. Aus <strong>de</strong>n hochaufgelösten TEM-Bil<strong>de</strong>r<br />
konnte nur abgeschätzt wer<strong>de</strong>n, dass sie unterhalb von 8,6 Å liegen müssen. Diese Breite<br />
entspricht dabei <strong>de</strong>r minimalen Aus<strong>de</strong>hnung <strong>de</strong>s Beugungskontrasts (im Bereich<br />
5.4 Untersuchungen zur Schichtstruk<strong>tu</strong>r 83 Aluminiumschicht_____________Seite aufgedampften <strong>de</strong>r<br />
zwischen A und B).<br />
Des weiteren wur<strong>de</strong>n Querschnitte durch die Aluminiumschicht untersucht. Dazu<br />
wur<strong>de</strong>n einzelne aluminiumbedampfte BoPP-Folien in Durcopan (Einbettmaterial für<br />
TEM-Untersuchungen) eingebettet, nach Herstellerangaben ausgehärtet und<br />
anschließend im Ultramikrotom dünne Querschnitte präpariert. Die Herstellung <strong>de</strong>r<br />
Querschnitte erwies sich dabei als recht kompliziert, da es häufig beim Schnei<strong>de</strong>n zum<br />
Abschälen <strong>de</strong>r Aluminiumschicht aufgrund schlechter Adhäsion mit <strong>de</strong>m<br />
Einbettmaterial kam. Um diese zu verbessern, wur<strong>de</strong>n die aluminiumbedampften<br />
Muster daher in Argonplasma aktiviert, was schließlich die Herstellung solcher Schnitte<br />
ermöglichte. Die Untersuchungen an <strong>de</strong>n verschie<strong>de</strong>nen Querschnittsmustern zeigen,<br />
dass in <strong>de</strong>r Regel die Höhe <strong>de</strong>r Kristallite <strong>de</strong>r Dicke <strong>de</strong>r aufgedampften Schicht<br />
entspricht. Vereinzelt treten jedoch auch Bereiche auf, an <strong>de</strong>nen zwei Kristallite<br />
übereinan<strong>de</strong>r liegen, wobei die Summe <strong>de</strong>r Höhen bei<strong>de</strong>r Kristallite <strong>de</strong>r<br />
Aluminiumschichtdicke entspricht. Auch hier sind die Körner <strong>de</strong>utlich zu erkennen.<br />
Eine Bestimmung <strong>de</strong>r Breite <strong>de</strong>r Korngrenzen gelang aufgrund <strong>de</strong>s starken<br />
Beugungskonstrasts an <strong>de</strong>n Kornrän<strong>de</strong>rn auch in diesem Fall nicht. Es lässt sich<br />
lediglich nachweisen, dass sie unterhalb von einem Nanometer liegen muss, da dieser<br />
Wert <strong>de</strong>r Aus<strong>de</strong>hnung <strong>de</strong>s Beugungskontrastes entspricht. Abb. 5-13 stellt ein<br />
entsprechen<strong>de</strong>s TEM-Bild eines Querschnitt dar.