Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Dadurch konnte zwar die Einkristallinität der verschiedenen Kristallite nachgewiesen
werden (Bereich A: Linienmuster), aufgrund der starken Beugungskontraste an der
Kornrändern (dunkler Bereich zwischen A und C) und der auftretenden Moiré-Muster,
die durch gegeneinander verdrehte und sich überlagernde Gitterstrukturen entstehen
(siehe Bereich B, mit starkem Hell-Dunkel-Muster) war die Bestimmung der Größe der
Kornzwischenräume jedoch nicht durchführbar. Aus den hochaufgelösten TEM-Bilder
konnte nur abgeschätzt werden, dass sie unterhalb von 8,6 Å liegen müssen. Diese Breite
entspricht dabei der minimalen Ausdehnung des Beugungskontrasts (im Bereich
5.4 Untersuchungen zur Schichtstruktur 83 Aluminiumschicht_____________Seite aufgedampften der
zwischen A und B).
Des weiteren wurden Querschnitte durch die Aluminiumschicht untersucht. Dazu
wurden einzelne aluminiumbedampfte BoPP-Folien in Durcopan (Einbettmaterial für
TEM-Untersuchungen) eingebettet, nach Herstellerangaben ausgehärtet und
anschließend im Ultramikrotom dünne Querschnitte präpariert. Die Herstellung der
Querschnitte erwies sich dabei als recht kompliziert, da es häufig beim Schneiden zum
Abschälen der Aluminiumschicht aufgrund schlechter Adhäsion mit dem
Einbettmaterial kam. Um diese zu verbessern, wurden die aluminiumbedampften
Muster daher in Argonplasma aktiviert, was schließlich die Herstellung solcher Schnitte
ermöglichte. Die Untersuchungen an den verschiedenen Querschnittsmustern zeigen,
dass in der Regel die Höhe der Kristallite der Dicke der aufgedampften Schicht
entspricht. Vereinzelt treten jedoch auch Bereiche auf, an denen zwei Kristallite
übereinander liegen, wobei die Summe der Höhen beider Kristallite der
Aluminiumschichtdicke entspricht. Auch hier sind die Körner deutlich zu erkennen.
Eine Bestimmung der Breite der Korngrenzen gelang aufgrund des starken
Beugungskonstrasts an den Kornrändern auch in diesem Fall nicht. Es lässt sich
lediglich nachweisen, dass sie unterhalb von einem Nanometer liegen muss, da dieser
Wert der Ausdehnung des Beugungskontrastes entspricht. Abb. 5-13 stellt ein
entsprechendes TEM-Bild eines Querschnitt dar.